喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。蒸汽的影响:我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状况变得不稳定。水环真空泵能获得的极限真空为2000~4000Pa。干式真空泵求购
如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂,需要加液态水过滤器和冷凝器,起到一个过滤的作用。我们在使用真空干燥箱的同时, 也一定要加强对于真空泵的维护,及时给真空泵换油,延长它的使用寿命。干式真空泵目前在国内仍处于起步阶段,国产替代进口将会成为日后的趋势。干式真空泵对于制程的良率会产生较大的效果。干泵替代现有的水泵、油泵也是一个趋势。1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。干式真空泵求购真空泵普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。
高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,特别是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越长,故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的时间达到主泵可以工作的压力。水环真空泵中气体压缩是等温的,可抽除易燃、易爆的气体。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有极高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能,同时在中真空范围也有较强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高,所以可使前级泵易于处于高流量状态;而分子增压泵吸入压力高,减缓了前级泵的预抽负担。这样可以使系统尽快地进入工作压力,保证了设备的使用效率。如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂,需要加液态水过滤器和冷凝器,起到一个过滤的作用。隔膜式真空泵订做
真空泵的转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可降低驱动功率。干式真空泵求购
水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵。水环真空泵由于用水或其它液体做工作液,所以其抽气性能及真空度受工作液的温度影响较大,如果工作液的温度较高,真空泵的入口真空度达到液体的饱和蒸汽压,水(液)环真空泵便会产生气蚀现象,气蚀的存在对泵的寿命损害比较大,主要表现为叶轮叶片的根部及排气圆盘的排气口附近,有规则的气蚀冲击孔。为了避免气蚀的产生,可以降低工作液的温度,或者降低真空泵的使用真空度,极限压力为3300~5000Pa之间。干式真空泵求购
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