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3、照度

a)在工作台面上，沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点，测量点之间的距离不超过300mm，与侧壁距离为150mm；

b)关掉安全柜的灯，从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx；

4、下降气流流速

在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置，多点测量穿过该平面的下降气流流速；

a)测量点等距分布，形成的正方形栅格不大于150mm×150mm，测试点**少应有3排，每排**少应有7个测量点；

b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。

5、流入气流流速

测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)

a）用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速，测量点为不大于100mm×100mm的栅格点，边界点距过滤器边缘100mm，测量面与过滤器面的距离约100mm；

b）计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速（m/s），平均排气流速乘以排气面积（m²），得到排气流量（m³/s）；

c）排气流量（m³/s）除以前窗操作口面积（m²）,得到平均流入气流流速（m/s）； 安装验证的内容包括多项检验信息和地点、辅助设施和设备的安全性能的介绍。浙江检测值得推荐

空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。排风柜检测规范性强运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。

高效过滤器检漏步骤如下：

1、  将灰尘粒子计数器用打针用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线映照30分钟传入干净区。

2、  将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。

3、  打开电源。仪器进行自检、选项后，把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置。

4、  检测时采样头离高效过滤器2—4厘米，沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描，每块高效过滤器至少测试出5个点，观察显示数据。测试终了后，测试完毕后，将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行自检，然后关闭电源。

      结果：检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象，需堵漏或更换。

      高效过滤器检漏的目的：在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求。精确检测高效过滤器的质量，可以防止高效过滤器走漏，影响出产。

定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）（1）自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)（2）换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。

1） 垂直单向流:均可获得均匀向下气流，便于工艺设备布置，自净能力强，可简化人身净化设施等共同设施等共同优点外，四种送风方式还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点，但顶棚结构复杂，造价高;侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反，其中全孔板顶送在系统非连续运行时，孔板内表面易积尘，维护不好，对洁净度有些影响;密集散流器顶送，因需要一段混和层，所以只适用于4m以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿;对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式适用两侧净间距小于6m的洁净室;单侧墙下部布回风口*适用对墙间距较小(如≤>2~3m)的洁净室。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。山东电子厂房环境检测认真负责

静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转，但场内无生产人员。浙江检测值得推荐

单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是：气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用，迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现，*重要一点是高效过滤器必须满布。当然，过滤器是有边框的，顶棚也有边框，不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度：

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%，水平单向流应小于40%，否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度（流线平行性）

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行（在0.5m距离内线间夹角不能小于15°），又要求流线尽可能垂直于送风面（其倾角*小不能小于65°）。

   ②乱流度（速度不均匀度）

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 浙江检测值得推荐

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