金华快速干燥真空烘箱PID调节

BPO胶/PI胶/BCB胶固化烘箱要求一、技术指标与基本配置：1、洁净度：Class100级2、氧含量（配氧分析仪）：高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量3、使用温度：RT～400℃，最高温度：450℃4、控温稳定度：±1℃；5、温度均匀度：150℃±1.5%，350℃±2%以内（空载测试）；6、腔体数量:2个,上下布置；单独控温7、炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶8、空炉升温时间：1.5h；9、空炉降温时间：375℃--80℃；降温时间1.5-3.5小时(采用水冷及风冷)；10、智能控制系统：PCL+PC工控电脑进口数显压力表，真空控制精度高，稳定性高。金华快速干燥真空烘箱PID调节

在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污丽水防止氧化真空烘箱安全警报经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。

操作流程1、将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上，推入干燥箱内；2、关紧箱门，放气阀，箱门上有螺栓，可使箱门与硅胶密封条紧密结合；3、将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空；4、依据真空泵的性能，抽到压力表为真空泵的极限值为准；5、抽完真空后，先将真空阀门关闭，如果真空阀门关不紧，请更换，然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生)6、本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。如果压力表指数下降，则可能存在漏气现象，可再进行抽气操作；7、干燥完成后，先将放气阀打开，放出里面气体，再进行打开真空干燥箱箱门，取出物料。

使用注意事项1.真空箱外壳必须有效接地，以保证使用安全。2.真空箱应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。3.真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理，不得放易燃、易爆、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。4.真空泵不能长时期工作，因此当真空度达到干燥物品要求时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。5.干燥的物品如潮湿，则在真空箱与真空泵之间比较好加入过滤器，防止潮湿气体进入真空泵，造成真空泵故障。6.干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网，以防干燥物吸入而损坏真空泵（或电磁阀）。检查真空泵管路及结合处有无松动现象。

由外及里，干燥箱的内胆有两种选择，一是镀锌板，二是镜面不锈钢。镀锌板在长期使用过程中容易生锈，不利于保养；镜面不锈钢外观整洁，易于保养，使用寿命长，属市场上较好的内胆材质，但是价格要稍高于镀锌板。 内胆的样品架子一般有两层，可根据客户的要求增添。由于样品架的质量是由不锈钢压制而成，且多增加的架子不利于内部热风的循环，加大风机的质量要求，所以每加一个架子的成本在三百元之间。国内干燥箱的保温材质主要是以纤维棉为主，少数采用聚氨酯。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。杭州易维护真空烘箱价格

整体成型硅橡密封圈，高真空度密封。金华快速干燥真空烘箱PID调节

维护保养：13、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在高效率点运转，才能获得大的节能效果。14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，高温度不得超过80C。15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。17、真空泵在工作一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。20、真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。21、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。金华快速干燥真空烘箱PID调节

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