准确的说是氪氙精制中降低液氮使用量的方法。技术实现要素:本发明的目的是针对现有技术中的不足,提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。为实现上述目的,本发明采取的技术方案是:提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法,分馏塔中冷凝蒸发器的冷源为液氮与氮气混合后得到的低温气体,根据分馏塔中每个精馏塔的操作温度不同,每个精馏塔的冷凝蒸发器冷源中低温氮气与常温氮气以不同比例混合。推荐地,从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后,经过主换热器复热送给直接放空。推荐地,从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后,经过主换热器复热送给循环压缩机增压。推荐地,所述氮气从直接管道供气或循环压缩机出来后,进入冷箱内的主换热器。推荐地,所述氮气从主换热器冷端抽出后进入一级精馏塔的***冷凝蒸发器与液氮混合生成低温氮气。推荐地,所述氮气从主换热器中部抽出后进入冷箱内,生成较低温氮气。推荐地,所述低温氮气为一级精馏塔中***冷凝蒸发器的冷源。推荐地,所述低温氮气出***冷凝蒸发器后与所述较低温氮气混合为其他精馏塔中冷凝蒸发器的冷源。还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置,包括:用于氪氙精制的分馏塔,包括:位于一级精馏塔塔内。微溶于水。进行低压放电时,在红色部分显示出非常明显的发射谱线。河南高纯氖气
在水中的溶解度/千克水。在一般情况下,氖不生成化合物。氖可由液态空气分馏产物经低温选择吸附法制取。氖在放电时发出橘红色辉光,用于制造霓虹灯,还大量用于高能物理研究。元素描述:稀有气体元素之一,无色,无臭,无味,气体密度,液体密度,熔点℃,沸点℃,化学性质极不活泼,电离能,不能燃烧,也不助燃,在一般情况下不生成化合物,气态氖为单原子分子,氖还有一个特殊性质是气体与液体体积之比,大多数深冷液态气体在室温条件下产生500到800体积的气体,而氖则生成大于1400体积的气体。这就为它的贮藏和运输带来方便。100升空气中含氖约。元素来源:由空气分离塔在制取氧氮气的同时,从中可以提取氖氦的混合气体,在经液氢冷凝法或活性炭**的吸附作用,便可得到氖。元素用途:大量用于高能物理研究,让氖充满火花室来探测和微粒的行径。也是制造霓虹灯和指示灯的好原料,和氩混合使用会有美丽的蓝光产生,也可用来填充**灯和钠蒸气灯。液体氖还用来做制冷剂。元素辅助资料:莱姆塞在发现氩和氦后,研究了它们的性质,测定了它们的原子量。接着他考虑它们在元素周期表中的位置。因为,氦和氩的性质与已发现的其他元素都不相似。贵州普通氖气体为了能够把大空间抽成真空状态,经常使用液氦低温泵,若真空要求不高,也可以采用液氖低温泵。
来自不可冷凝物汽提塔310、410的所有液氮塔底馏出物312、412提供液氮回流流318、418,该液氮回流流因来自空气分离单元10的废氮流93而在过冷器单元99中过冷。如上所述,经过冷液氮回流流的部分可任选地被看作液氮产物317、417,作为物流348、448转移到液氮回流冷凝器342、442或在阀319、419中膨胀,并且作为回流流360、460返回到空气分离单元10的低压塔74中。类似于图2的氖气质量改善装置,图4和图5的氖气质量改善装置340、440包括液氮回流冷凝器342、442;相分离器344、444。以及氮气流量控制阀346、446。液氮回流冷凝器342、442用第二冷凝介质348、448将含不可冷凝物排放流329、429冷凝,该第二冷凝介质是经过冷液氮回流流的一部分。将汽化流349、449从氖气回收系统100中移除并进料至废物流93中。在液氮回流冷凝器342、442内不冷凝的残余蒸气被作为粗氖蒸气流350、450从液氮回流冷凝器342、442的顶部抽出。现在转到图7和图8,示出了不可冷凝气体回收系统100的附加实施方案,该系统包括不可冷凝物汽提塔(nsc)510、610和冷凝器-再沸器520、620。图7和图8所示的不可冷凝物汽提塔510、610被构造成接收来自高压塔72的氮气盘架蒸气515、615的一部分。
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。氖气会发光发热,双金属片在这种温度环境中金属片会伸张与固定电极接触,是一种工作状态,电路接通。
附图标记为:循环压缩机1;分馏塔2;主换热器3;一级精馏塔4;二级精馏塔5;纯氪塔6;粗氙塔7;纯氙塔8;***冷凝蒸发器9;第二冷凝蒸发器10;第三冷凝蒸发器11;第四冷凝蒸发器12;第五冷凝蒸发器13。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。需要说明的是,在不***的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,但不作为本发明的限定。实施例1如图1所示,本发明实施例提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法,分馏塔中冷凝蒸发器的冷源为液氮与氮气混合后得到的低温气体,根据分馏塔2中每个精馏塔的操作温度不同,每个精馏塔的冷凝蒸发器冷源中低温氮气与常温氮气以不同比例混合。作为一个推荐实施例,从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后,经过主换热器3复热至0~20℃送给循环压缩机1增压至~。作为一个推荐实施例,所述氮气从直接管道供气或循环压缩机1出来后。在贮运过程中应轻装轻卸,严防容器碰损。内蒙古普氖气
主要用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质。河南高纯氖气
又能保证多波长沿着同一输出光路输出,且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节。为使本公开的目的、技术方案和***更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本公开进一步详细说明。在本公开实施例中,提供一种可控的多波长激光输出装置,如图3所示,所述可控的多波长激光输出装置,其为腔外频率转换的方式,包括:基频激光源,输出波长为λ的基频激光;其中900nm≤λ≤1600nm;二倍频非线性晶体,与所述基频激光源相连,用于将波长为λ的基频激光倍频后产生波长为λ/2的激光;三倍频非线性晶体,与所述二倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ的基频激光和λ/2的激光三倍频后产生波长为λ/3的激光;四倍频非线性晶体,与所述三倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ/2的激光倍频后产生λ/4的激光;多个温控炉,用于分别安放所述二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体、四倍频非线性晶体并进行加热,通过控制温控炉温度,实现调节输出光中各个波长激光的比例。所述二倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~150℃;所述三倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~60℃;所述四倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围20~40℃。河南高纯氖气