光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。微波等离子清洗机自由基分子的等离子体无偏压,不会对产品产生电性损坏。贵州plasma等离子清洗机厂家推荐
等离子清洗机在IC封装中的应用：塑封固化前:IC封装的注环氧树脂过程中，污染物的存在还会导致气泡的形成，气泡会使芯片容易在温度变化中损坏，降低芯片的使用寿命。所以，避免塑封过程中形成气泡同样是需解决的问题。芯片与基板在等离子清洗后会更加紧密地和胶体相结合，气泡的形成将减少，同时也可以显著提高元件的特性，引线键合前:芯片在引线框架基板上粘贴后，要经过高温固化，如果这时上面存在污染物，这些氧化物会使引线与芯片及基板之间焊接效果不完全或黏附性差，影响键合强度。等离子清洗运用在引线键合前，会显著提高其表面活性，从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。在IC封装工艺过程中，芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量，如果在封装工艺过程中的装片前引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗，则可有效去除这些污染物。贵州plasma等离子清洗机厂家推荐等离子清洗机是解决PECVD工艺石墨舟残留氮化硅问题的有效手段。
汽车内外饰件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型，在喷漆、粘接、涂覆工艺前，可使用等离子设备对汽车内饰件、仪表板、储物盒、天窗导轨、车灯等内外饰件进行表面活化，确保后续工艺质量。等离子表面处理具有处理效果均匀。无明火室温处理，材料不易烫坏变形、环保无污染和适用范围广等优点，在汽车产业中也起着不可或缺的作用。①塑料内饰件粘接前经等离子处理可实现表面活化，改善表面润湿性，确保粘接质量。②大尺寸弯曲、凹凸非平面的内饰件可使用真空等离子清洗机高效、均匀地进行表面活化处理，不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。
在微电子封装领域，Plasma封装等离子清洗机发挥着至关重要的作用。随着集成电路技术的不断发展，芯片尺寸不断缩小，对封装过程中的表面清洁度要求也越来越高。传统的湿法清洗方法难以彻底去除芯片表面的微小颗粒和有机物残留，而Plasma封装等离子清洗机则能够在分子级别上实现表面的深度清洁，有效去除这些污染物，提高封装的可靠性和稳定性。此外，等离子体还能对芯片表面进行改性，提高其与封装材料的粘附力，降低封装过程中的失效风险。因此，Plasma封装等离子清洗机已成为微电子封装生产线上的必备设备。等离子处理可以有效地去除内饰件表面的有机污染物，并生成活性基团，达到清洁和活化的双重效果。
等离子体作为物质的第四种形态，立于固态、液态和气态之外。当气体被加热至高温状态时，分子会裂解为阳离子和游离的电子，进而形成一种带电的气体状态。等离子体具备极高的能量与反应活性，能够在相对较低的温度下与物质发生化学反应，正因如此，它在众多工业领域中得以广泛应用。清洗原理大气等离子清洗机主要是通过将气体（通常为空气或者氮气）引入高频电场来促使等离子体的生成。这种等离子体能够产生大量的活性物质，例如活性氧、氢原子以及其他自由基等。这些活性物质能够切实有效地处理材料表面的污染物，像油脂、灰尘以及有机物等。整个清洗过程无需借助化学溶剂，既实现了对环境的保护，又规避了化学药剂可能对物品造成的损害。使用大腔体真空等离子可高效、均匀进行表面活化处理，提高润湿性，从而提高粘接强度。江苏晟鼎等离子清洗机生产企业
等离子清洗机还可以改善密封性和隔音效果，降低后序加工难度和成本，为汽车制造业带来明显的效益。贵州plasma等离子清洗机厂家推荐
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。金手指是指液晶屏与电路板或其他器件之间进行电气连接的重要部分。通过金手指的邦定，液晶屏能够接收到来自电路板的信号和数据，实现图像的显示和控制。在邦定前通过真空等离子处理可以有效提高其表面能，增强附着性，有利于减少虚焊、脱焊等问题，提高金手指与液晶屏或其他连接器件之间的连接强度，从而提升连接的可靠性。贵州plasma等离子清洗机厂家推荐
