4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等,也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起。北京生物安全柜洁净室检测范围

5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计,应符合下列要求:1在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;2吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位;3单人空气吹淋室,应按比较大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;4空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;5空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区),宜设气闸室。5.3.6人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级,宜由外至内逐步洁净,室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级;当设有洁净工作服洗涤室时,洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。洁净度洁净室检测范围应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。

4.1.1洁净厂房位置的选择,应根据下列要求经技术经济比较后确定:1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域;2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时,则应位于全年**小频率风向下风侧;3在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..
空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量;3中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段;4高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端;5同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近;6同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近;7对化学污染物有控制要求的洁净室(区),在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置;8高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。7.4.2风机过滤器机组的设置应符合下列要求:1应根据空气洁净度等级和送风量选用;2应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置,3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;4送风量应能调节;5应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求。对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。

B.1自净检测是测定洁净室设施***空气悬浮粒子的能力。洁净室污染洁净度的恢复性能是设施**重要的能力之一。自净检测*对非单向流系统重要并推荐采用,因为自净性能与受控区内循环空气比例(换气次数)、送风与出风的几何位置、热条件和空气分布特性因素相关,而单向流系统中,污染被受控气流置换,自净时间只受位置和距离的影响。自净检测应在设施处于空态或静态时进行。洁净度ISO8级和ISO9级的洁净室(区)不推荐自净检测。检测若使用人工气溶胶,应防止气溶胶对设施的残留污染。B.2自净性能的评估方法有100:1自净时间或洁净度恢复率。100:1自净时间的定义:粒子浓度降低到0.01倍初始浓度所需时间。100:1自净时间检测是优先方法。洁净恢复率的定义:粒子浓度随时间的变化速率。该方法可以使用粒子浓度衰减曲线进行描述(纵座标表示浓度,为对数刻度;横座标表示浓度,为线性刻度)。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室。上海口罩生产车间环境洁净室检测频率
有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。北京生物安全柜洁净室检测范围
D.3.7噪声检测,应符合下列规定:1洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。2洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1~1.5m,距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分,宜每100m2设一检测点。D.3.8照度测试,应符合下列规定:1洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。2照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。3照度检测点应设在工作高度,宜距地面0.85m,应每25m2设一个测点。北京生物安全柜洁净室检测范围
1.洁净室换气次数检测的重要性及方法换气次数是衡量洁净室空气洁净度维持能力的关键指标。足够的换气次数能够及时排出室内产生的污染物,引入洁净空气,保证洁净室内的空气品质。换气次数的检测方法主要有风速法和示踪气体法。风速法是通过测量送风口的风速和送风口的面积,结合洁净室的体积来计算换气次数。在实际操作中,需在多个送风口均匀布置风速测点,使用风速仪进行精确测量。为确保测量的准确性,要注意风速仪的校准和测量时间的选择,避免因气流波动导致测量误差。示踪气体法则是向洁净室内释放一定量的示踪气体,如六氟化硫,然后通过检测示踪气体浓度的衰减情况来计算换气次数。该方法适用于一些难以通过风速法准确测量的特殊洁净室...