几种主要类型真空计的详细介绍和对比
真空计按真空度刻度方法分类
真空计测量原理:直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。特点:对所有气体都是准确的,且与气体种类无关。示例:U型镑压力计、压缩式真空计、热辐射真空计等。相对真空计测量原理:由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力,不能通过简单的计算进刻度,必须进行校准才能刻度。特点:读数与气体种类有关。示例:热传导真空计、电离真空计等。 电离真空计的校准的注意事项有哪些?温州高质量真空计公司

如何选择真空计?考虑测量范围与精度:不同的真空计有不同的测量范围,需要根据实际需求选择。例如,热阴极电离真空计适用于高真空环境(10-11 mbar),而热阻式真空计则适用于气压在10-9 mbar范围内的测量。精度是选择真空计时需要考虑的另一个重要因素。需要根据物体不同的尺寸、物理量等来选择精度要求更高的真空计。考虑被测气体与环境:部分真空计对被测气体有要求。例如,热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤。部分真空计会影响被测环境。例如,压缩式真空计在测量时要压缩被测气体,这可能会使水蒸气凝结,从而影响被测真空环境。安徽高精度真空计供应商为什么真空计读数不变?

金属薄膜真空计
性能特点高灵敏度:金属薄膜真空计通常具有较高的灵敏度,能够准确测量微小的压力变化。宽测量范围:虽然具体范围取决于金属薄膜的材质和厚度,但金属薄膜真空计通常具有较宽的测量范围,适用于从低真空到高真空的不同环境。稳定性好:在适当的维护下,金属薄膜真空计具有良好的稳定性,能够长时间保持测量精度。抗污染能力强:相对于某些其他类型的真空计,金属薄膜真空计对污染的敏感性较低,能够在一定程度上抵抗污染物的干扰。
辰仪MEMS电容真空计是辰仪完全自主开发的,采用MEMS技术开发的电容真空计,该真空计是通过直接的压力变化产生的电容值的变化得出真空度的一种真空测量方法,精度可达到万分之一,且不受气体种类的限制的优点,是高精度高稳定性真空测量的理想选择。
辰仪MEMS电容真空计是辰仪完全自主开发的,采用MEMS技术开发的电容真空计,该真空计是通过直接的压力变化产生的电容值的变化得出真空度的一种真空测量方法,精度可达到万分之一,且不受气体种类的限制的优点,是高精度高稳定性真空测量的理想选择。 在皮拉尼真空计中,热敏电阻被放置在一个密闭的容器中,容器的内部空气被抽空,使其成为真空。

皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳,内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路,并负责信号放大和信号数字化的工作。
此外,皮拉尼真空计还常用于监测从大气到高真空区域开始的泵送过程(如涡轮分子泵或其他高真空泵接管该区域)、在真空冶金行业(在受控环境中制造的高纯度合金)中确保不同薄膜涂层系统的工艺一致性和优化等方面。
综上所述,皮拉尼真空计作为一种热传导式真空计,具有较大的测量范围、较好的重现性、较低的制作成本和合适的价格等优点。同时,它也存在一些缺点,如对不同气体的测量精度差异和对污染的敏感性等。因此,在选择和使用皮拉尼真空计时,需要根据具体应用场景和需求进行综合考虑。 真空计校准后为什么不准了?南京电容薄膜真空计供应商
电容真空计的测量精度受哪些因素影响?温州高质量真空计公司
气体种类:特别是热传导式和电离式真空计,测量值会随气体的种类变化,通常需要对不同气体进行校准。污染和老化:真空计的探头在长期使用中可能会受到污染或老化,尤其是电离式真空计中的热阴极,需要定期维护。环境温度:真空计的性能会受到环境温度的影响,尤其是皮拉尼真空计,其电阻元件对温度变化敏感,可能需要在恒温环境下进行精确测量。综上所述,真空计是一种精密测量真空度的关键仪器,在多个领域都发挥着重要作用。选择合适的真空计并正确使用和维护,对于确保工艺的精度和效率至关重要。温州高质量真空计公司
辰仪金属电容真空计是完全对标MKS的金属电容真空计而开发的一款金属膜片真空计,已实现全系列部件国产化,产品测量精度接近MKS金属电容真空计。辰仪金属电容真空计已中芯国际等国内FAB厂上机测试,填补了MKS对国内断供的影响。辰仪金属电容真空计是完全对标MKS的金属电容真空计而开发的一款金属膜片真空计,已实现全系列部件国产化,产品测量精度接近MKS金属电容真空计。辰仪金属电容真空计已中芯国际等国内FAB厂上机测试,填补了MKS对国内断供的影响。真空计选型需要注意什么?南京陶瓷真空计供应商真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10...