上海过滤器无尘室检测方法

11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上；现场除正常照明外，应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封，并应装饰处理。单向流和非单向流组合的气流。上海过滤器无尘室检测方法

17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查，并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h，不得反转，其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认，应进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调，动作正确，无异常现象。17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查，并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h，不得反转，其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认，应进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调，动作正确，无异常现象。浙江半导体净化车间无尘室检测规范性强无尘室通常用于制药、电子、半导体等行业。

6.2.1气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：1应使用无缝管材。2管材内表面吸附、解吸气体的作用小。3管材内表面应光滑、耐磨损。4应具有良好的抗腐蚀性能。5管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。6负压管道不宜采用普通碳钢管。6.2.2所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。6.2.3成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求：1应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面，2当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有人员按照规范操作。

E.5.1无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求：1室内空气温度和相对湿度测定之前，空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计；湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的极小刻度不宜高于0.4℃，湿度检测仪表的极小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点，应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后，还应同时测出室外温湿度。洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。江苏洁净室环境无尘室检测标准

一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力。上海过滤器无尘室检测方法

4.1.1洁净厂房位置的选择，应根据下列要求的经技术经济比较后确定：1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域；2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时，则应位于全年极小频率风向下风侧；3在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。上海过滤器无尘室检测方法