浙江电子厂房环境无尘室检测技术好

6.2.1气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：1应使用无缝管材。2管材内表面吸附、解吸气体的作用小。3管材内表面应光滑、耐磨损。4应具有良好的抗腐蚀性能。5管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。6负压管道不宜采用普通碳钢管。6.2.2所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。6.2.3成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。单向流和非单向流组合的气流。浙江电子厂房环境无尘室检测技术好

E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。江苏口罩生产车间环境无尘室检测第三方检测机构无尘室为半导体行业提供了可靠的工作环境，推动了计算机、通信、物联网等领域的飞速发展。

4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。

11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上；现场除正常照明外，应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封，并应装饰处理。无尘室通常用于制药、电子、半导体等行业。

7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室（区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室（区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室（区）使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。尘室通常采用高效的HEPA（高效颗粒空气）过滤器或ULPA（超高效颗粒空气）过滤器，可有效过滤微小的灰尘。安徽半导体净化车间无尘室检测方法

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产。浙江电子厂房环境无尘室检测技术好

6.2.3洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区)，在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。6.2.4洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上下技术夹层的面积可不计人防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。6.2.5洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。浙江电子厂房环境无尘室检测技术好