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2、温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。***个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。3、压差这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界**远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。洁净室地面、墙面及天花板的清洁度也是检测内容之一。广东洁净室环境检测服务至上

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响北京实验室环境检测服务至上引进先进的检测技术，提升洁净室检测的效率和准确性。

四、照度标准规定：洁净区主要操作间照度不得少于300勒克斯，一般照明的照度均匀度不应小于0.7。洁净区的照度检查每年不得少于一次，在经过设备大修、厂房改造、工艺布局调整等变更的时候应在变更结束后重新检测照度。检测要求：室内照度测度必须在室温已趋稳定，光源光输出趋于稳定后进行（对荧光灯必须有100h）。检测方法:测点平面离地面0.85m，按间距1-2m布点，测点距墙面1m。其要求基本与洁净度的测定位置要求相同。记录实测照度值并计算总的平均照度。照度测量一般*测定除局部照明之外的一般照明。

B.3.3.3.2离散粒子计数器（DPC）测量使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法基本相同，不同点只有一处，由于只需要大粒子的计数数据，因此对1μm以下粒子的仪器灵敏度无要求。注意离散粒子计数器的样本需是直接采自采样点的空气；计数器采样管的长度不得超过1m；离散粒子计数器的采样流量至少0.00047m/s。单向流洁净室中，计数器采样口的尺寸应适应等动力采样。在非单向流区域，离散粒子计数器的采样口应朝上，采样口直径应不小于30mm。设定计数器的粒径范围，使其只测量大粒子。为了保证所测粒子的浓度不大于出现重叠误差的浓度，应保留一个低于5μm（见GB/T25915.1-2010中表1）的粒径档。将这个小于5μm粒径档的浓度数据加到大粒径数据中，浓度之和不应超过所用粒子计数器比较大浓度建议值的50%。乱流(非单流)洁净室的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风。

4.3.2人员净化用室和生活用室的设置应符合下列规定：1应设置存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服等人员净化用室。2厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等可根据需要设置。4.3.3人员净化用室和生活用室的设计应符合下列规定：1人员净化用室的入口处应设净鞋措施。2存外衣、更换洁净工作服的房间应分别设置。3外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜，洁净工作服宜集中挂人带有空气吹淋的洁净柜内。4盥洗室应设洗手和烘干设施。5空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。6严于5级的垂直单向流洁净室宜设气闸室。7洁净区内不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。洁净室检测中发现的改进机会应纳入持续改进计划中。福建消毒液净化车间环境检测值得推荐

各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。广东洁净室环境检测服务至上

B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区，其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%，粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%，见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定，是基于对扩散元件透过率的计算，该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%，对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器（DPC）或凝聚核计数器（CNC）的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧，则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧，则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低计数效率。此时，经改进的离散粒子计数器或凝聚核计数器的计数效率就成为原计数器的计数效率与粒径限制器透过率的乘积。广东洁净室环境检测服务至上