所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。5.权利要求14中任一项的组合物,特征在于,所述组合物是共沸的或共沸型的。6.权利要求5的组合物,特征在于,所述组合物包含515重量%的甲基四氢呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸组合物,其包含8重量%的甲基四氢呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大气压()下具有°C的沸点。8.权利要求5的组合物,特征在于,所述组合物包含1040重量%的甲基四氢呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸组合物,其包含%的甲基四氢呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大气压()下具有°C的沸点。10.制冷剂,特征在于,其包含前述权利要求中任一项的组合物。11.溶剂,特征在于,其包含权利要求19中任一项的组合物。全文摘要本发明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或组合物。更具体地说,本发明涉及含有至少一种九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的组合物,该组合物可用作溶剂或制冷剂。苏州博洋化学股份有限公司欢迎咨询BOE蚀刻液。河南一种BOE蚀刻液推荐厂家

添加剂为二乙二醇单甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分别为%、%、%。实施例6本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸钠,添加量分别为总质量的%、%、%。对照例对照例中所含成分显示于表1,并采用与实施例相同的方法进行处理。对照例1为纯磷酸,总质量为400g。对照例2为磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量为总质量的%。对照例3为磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量为总质量的%。结果如表2所示,与对照例蚀刻液相比,实施例蚀刻液有更低的表面张力和接触角,并且氮化硅层蚀刻后显示出良好的均匀性。表1表2显然,上述实施例和对照例是为了清楚地说明所作的实例,而并非对实施方式的限制。对于所属领域的技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动,这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而因此所引申的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之内。上海电子级BOE蚀刻液价格BOE蚀刻液苏州博洋化学股份有限公司。

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