北京洁净室环境检测规范性强

洁净室**主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。北京洁净室环境检测规范性强

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越***，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得广东洁净工作台检测认真负责洁净室检测通常包括空气洁净度、温湿度、压差等多个参数。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

4.2.2洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房应分区布置,并应与生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统等各种技术设施进行综合协调。4.2.3洁净厂房内应少设隔间,但在下列情况下应进行分隔:1按生产的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间,或有防火分隔要求者。2按产品生产工艺需要有分隔要求时。3生产联系少,并经常不同时使用的两个生产区段之间。4.2.4在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下,洁净厂房内各种固定技术设施的布置,应优先考虑净化空调系统的要求。固定技术设施包括送风口、照明器、回风口、各种管线等。验证生物洁净室的步骤主要分为三个部分：1、验证安装；2、验证操作；3、验证性能。

4.3.2人员净化用室和生活用室的设置应符合下列规定：1应设置存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服等人员净化用室。2厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等可根据需要设置。4.3.3人员净化用室和生活用室的设计应符合下列规定：1人员净化用室的入口处应设净鞋措施。2存外衣、更换洁净工作服的房间应分别设置。3外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜，洁净工作服宜集中挂人带有空气吹淋的洁净柜内。4盥洗室应设洗手和烘干设施。5空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。6严于5级的垂直单向流洁净室宜设气闸室。7洁净区内不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。山东实验室检测方便客户

洁净室的设计布局应便于检测和维护工作的开展。北京洁净室环境检测规范性强

（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。（2）静压差的测定应从平面上**里面的房间，通常也就是洁净度级别比较高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。5、检测时的注意事项在进行洁净室静压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。若达不到标准的要求应重新调整新风量、排风量直至合格为止。北京洁净室环境检测规范性强