半导体废气处理设备

催化燃烧法，催化燃烧是在催化剂的作用下，将废气中的有害可燃组分完全氧化为二氧化碳和水的过程。优点：催化燃烧器净化率高、工作温度低、能量消耗少、对可燃组分浓度和热值限制少，操作简便和安全性好。缺点：有的气体燃烧条件苛刻，需高温、高空和高水蒸气分压，因此催化剂必须具备较高的活性、高热稳定性和较高的水热稳定性，以及一定的抗中毒能力。活性炭吸附法，活性炭吸附是将有机废气由排气风机送人吸附床，有机废气在吸附床被活性炭吸附剂吸附而使气体得到净化，净化后的气体排向大气即完成净化过程。优点：吸附率高，运行能耗低，费用成本低，安全可靠，适用于有爆裂的危险场所，吸附剂可以回收，节能环保。缺点：不耐高温，在湿润的条件下不能保持很好的吸附能力；易燃，较快达到饱和吸附而失去效用；产生二次固体或液体污染物。合理的废气处理设备能够有效净化废气中的有害物质。半导体废气处理设备

直燃式废气处理炉，所需温度：摄氏700-800度；对应废气种类：所有；废气净化效率在99.8%以上；搭配废气机热回收系统可有效降低工厂营运成本；催化式废气处理炉（RCO）；所需温度：摄氏300-400度；根据废气浓度而启动的自燃性；系统设计利用前处理剂和触媒清洁可延长设备使用年限；可在前端配置各种吸附材。TNV系统由三大部分组成：废气预热及焚烧系统、循环风供热系统、新风换热系统，废气焚烧集中供热装置的特点包括：有机废气在燃烧室的逗留时间为1～2s；有机废气分解率大于99％；热回收率可达76％；燃烧器输出的调节比可达26∶1，较高可达40∶1。缺点：在处理低浓度有机废气时，运行成本较高；管式热交换器只是在连续运行时，才有较长的寿命。半导体废气处理设备废气处理设备有利于提升生产企业的环保形象和竞争力。

蓄热式催化剂焚烧炉(RCO)，排放自工艺含VOCs的废气进入双槽RCO，三向切换风阀(POPPETVALVE)将此废气导入RCO的蓄热槽(EnergyRecoveryChamber)而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入催化床(CatalystBed)，VOCs在经催化剂分解被氧化而放出热能于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗。陶块被加热，燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此出口温度略高于RCO入口温度。三向切换风阀切换改变RCO出口/入口温度。如果VOCs浓度够高，所放出的热能足够时，RCO即不需燃料。例如RCO热回收效率为95%时，RCO出口只较入口温度高25℃而已。

氧化法的基本原理：VOC与O2发生氧化反应，生成CO2和H2O，化学方程式如下：从化学反应方程式上看，该氧化反应和化学上的燃烧过程相类似，但其由于VOC浓度比较低，在化学反应中不会产生肉眼可见的火焰。一般情况下，氧化法通过两种方法可确保氧化反应的顺利进行：a) 加热。使含有VOC的有机废气达到反应温度;b) 使用催化剂。如果温度比较低，则氧化反应可在催化剂表面进行。热氧化法。热氧化法当前分为三种：热力燃烧式、间壁式、蓄热式。三种方法的主要区别在于热量回收方式。这三种方法均能催化法结合，降低化学反应的反应温度。废气处理方案需要根据企业实际情况量身定制，做出有效的处理方案。

PSA 技术主要应用的是物理法，通过物理法来实现有机废气的净化，使用材料主要是沸石分子筛。沸石分子筛，在吸附选择性和吸附量两方面有一定优势。在一定温度和压力下，这种沸石分子筛可以吸附有机废气中的有机成分，然后把剩余气体输送到下个环节中。在吸附有机废气后，通过一定工序将其转化，保持并提高吸附剂的再生能力，进而可让吸附剂再次投入使用，然后重复上步骤工序，循环反复，直到有机废气得到净化。近年来，该技术开始在工业生产中应用，对于气体分离有良好效果。该技术的主要优势有：能源消耗少、成本比较低、工序操作自动化及分离净化后混合物纯度比较高、环境污染小等。使用该技术对于回收和处理有一定价值的气体效果良好，市场发展前景广阔，成为未来有机废气处理技术的发展方向。废气处理技术的推广和应用，对于改善环境质量具有重要意义。半导体废气处理设备

工厂废气经过严格处理，确保达标排放，为城市的空气质量贡献力量。半导体废气处理设备

吸收工艺：（1）吸收工艺简介，用溶液、溶剂或清水吸收工业废气中的挥发性气体，使其与废气分离的方法叫吸收法。溶液、溶剂、清水称为吸收剂。吸收剂不同可以吸收不同的有害气体。吸收法使用的吸收设备叫吸收器、净化器或洗涤器。吸收法的工艺流程和湿法除尘工艺近似，只是湿法除尘工艺用清水，而吸收法净化有害气体要用溶剂或溶液。（2）吸收工艺原理及流程，以石油和天然气回收为例，石油和天然气回收应包括炼油厂，化工厂，石油和天然气站装卸、产生的油气。石油和天然气出厂到销售终端是一个完整的系统。半导体废气处理设备