湖南应用BOE蚀刻液报价

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    lapruebadepresiónhidráánresistentesaloshidrocarburosyalosaditivosquepuedanconteneryaseguraráónserándeunmaterialqueresistalacorrosiónypermitasufácilsustitucióóósitossemontarándosorejetasdeizadodeformasimétricaenrelaciónconelcentrodegravedaddelosdepósitosvacíánrecortadasdeunachapadecalidadigualaladelosdepóáncomomínimoparauncargaigualaldobledelpesodeldepósitovacíándiseñadasparanotransmitiresfuerzosanómalosalasvirolasdelaenvolventecilíndricayestaránsoldadasentodosucontorno,amásde50milíósitosdemenosdetresmetrosdelargosepodrácolocarunasolaorejetadeizado,óndelosdepóósitosseubicaránagrupadosenfosocomúónentredepósitosserádeunmetroyladimensiónmínimadelfososeráaquellaqueacojaalgrupodedepósitosdejando50centímetrosentodoelperíósitos,ladistanciamínimaamuros,edificaciones,ínimaaedificaciones,existentesoposiblesenelexteriordelosterrenosdelaESoUSserá:1.ºParadepósitos«litrosdecapacidadnominal:.ºParadepósitosde&。上海如何分类BOE蚀刻液按需定制选择BOE蚀刻液，实现高精度蚀刻效果。

    添加剂为二乙二醇单甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为％、％、％。实施例6本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％、％。对照例对照例中所含成分显示于表1，并采用与实施例相同的方法进行处理。对照例1为纯磷酸，总质量为400g。对照例2为磷酸、丙二醇丁醚，其中丙二醇丁醚的添加量为总质量的％。对照例3为磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量为总质量的％。结果如表2所示，与对照例蚀刻液相比，实施例蚀刻液有更低的表面张力和接触角，并且氮化硅层蚀刻后显示出良好的均匀性。表1表2显然，上述实施例和对照例是为了清楚地说明所作的实例，而并非对实施方式的限制。对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而因此所引申的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之内。

    此处所描述的具体实施例用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。参照图1，本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统包括：电解槽1、射流器2、再生液调配缸3、液体泵4，其中，电解槽1具有一出液口和出气口，且电解槽1中内置有酸性蚀刻液，电解槽1对该酸性蚀刻液进行电解提铜，产生氯气，得到电解后液，并且，产生的氯气通过位于上方的出气口排出，电解后液通过位于下方的出液口排出。射流器2包括混气室21和扩散管22，混气室21和扩散管22之间为喉管，混气室21具有进气口2a、进液口2b、出液口2c，扩散管22连接至出液口2c，进气口2a通过导气管a与电解槽1的出气口连接以接收氯气，扩散管22深入到再生液调配缸3中。再生液调配缸3具有进液口和循环出液口，进液口通过管道b与电解槽1的出液口连接以接收电解后液。液体泵4的一端通过管道b连接再生液调配缸3的循环出液口，另一端通过管道b连接射流器2的进液口2b，用于将再生液调配缸3中的电解后液通过管道b抽取至射流器2的进液口2b。电解槽1电解提铜后，阳极产生的氯气通过导气管a进入到射流装置2的混气室21内，电解后液通过液体泵4打入到射流装置2的混气室21，在混气室21形成真空，在喉管处氯气与电解后液剧烈混合。什么制程中需要使用BOE蚀刻液。

    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氢呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先，用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重，其构成皮重。然后，在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重，并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来，将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟，不进行搅拌且无超声。该片材一移出，就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry)，并且，在该15分钟结束时，通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比，计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下，得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。BOE蚀刻液，让您的蚀刻工艺更上一层楼。上海专业BOE蚀刻液推荐厂家

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    本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂，来改善磷酸的浸润性和表面张力，使之均匀蚀刻氮化硅。背景技术：氮化硅是一种具有很高的化学稳定性的绝缘材料，氢氟酸和热磷酸能对氮化硅进行缓慢地腐蚀。在半导体制造工艺中，一般是采用热磷酸对氮化硅进行蚀刻，一直到了90nm的制程也是采用热磷酸来蚀刻氮化硅。但随着半导体制程的飞速发展，器件的特征尺寸越来越小，集成度越来越高，对制造工艺中的各工艺节点要求也越来越高，如蚀刻工艺中对蚀刻后晶圆表面的均匀性、蚀刻残留、下层薄膜的选择性等都有要求。在使用热磷酸对氮化硅进行蚀刻时，晶圆表面会出现不均匀的现象，体现于在蚀刻前后进行相同位置取点的厚度测量时，检测点之间蚀刻前后的厚度差值存在明显差异。为了解决氮化硅蚀刻不均匀的问题，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂可以实现氮化硅层的均匀蚀刻。技术实现要素：本发明所要解决的技术问题是提供一种能均匀蚀刻氮化硅层的蚀刻液。本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，所述蚀刻液的组成包括：占蚀刻液总重量≥88％的磷酸、％的醇醚类、％的表面活性剂。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液。湖南应用BOE蚀刻液报价