光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。全自动等离子表面处理机结合了自动化优势，可以搭载生产线进行工作，带来稳定持续的处理效果。山西半导体封装等离子清洗机厂商
什么是等离子体？等离子体（plasma）是由自由电子和带电离子为主要成分的物资状态。被称为物资的第四态。如何产生等离子体？通常我们接触到的等离子有三种方式：高温（燃烧）、高压（闪电）或者高频、高压源（等离子电源）下产生。等离子体在处理固体物质的时候，会有固体物质发生两种发应：物理反应、化学反应。物理反应：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面被带走。化学反应：大气中的氧气等离子的活性基团可以和处理物表面的有机物反应产生二氧化碳和水，达到深度清洁作用。福建plasma等离子清洗机品牌等离子清洗机对所处理的材料无严格要求，无论是金属、半导体、氧化物，都能进行良好的处理。
低温等离子清洗机处理温度低，全程无污染，处理效率高，可实现全自动在线生产。样品表面经过短时间处理可以显著提高材料表面能,亲水性,处理效果均匀稳定。等离子活化是一种利用等离子体处理技术对材料表面进行活化处理的方法。等离子体具有对材料表面活化的作用，因为等离子体包含离子、原子、电子、分子、自由基和紫外光等多种具有高度活性的粒子。在这些高能粒子轰击下，材料表面可能发生化学断裂、重组，从而达到材料表面性能改变的目的。
等离子表面处理机的功能和特点表面活化：等离子体能够活化物体表面，去除氧化层和有机杂质，提高表面清洁度和粘接性。涂覆处理：通过等离子体辅助化学反应，实现表面上的涂覆和镀膜，提供耐磨、防腐、防氧化等功能。表面改性：等离子体能够改变物体表面的化学结构和性质，提高材料的硬度、耐磨性、附着力等。高效性能：等离子表面处理机具有高效、快速和精确的处理能力，能够满足工业生产中对表面处理的要求。自动化控制：现代等离子表面处理机配备了先进的自动化控制系统，可以实现参数调节、数据记录和远程监控等功能。广泛应用：广泛应用于汽车制造、电子器件、金属加工、塑料制品、医疗器械等行业领域。等离子技术是一新兴的领域，该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应。
真空等离子处理是如何进行?要进行等离子处理产品,首先我们产生等离子体。首先，单一气体或者混合气体被引入密封的低压真空等离子体室。随后这些气体被两个电极板之间产生的射频（RF）jihuo，这些气体中被jihuo的离子加速,开始震动。这种振动“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。在处理过程中,等离子体中被jihuo的分子和原子会发出紫外光，从而产生等离子体辉光。温度控制系统常用于控制刻蚀速率。60-90摄氏度温度之间刻蚀，是室温刻蚀速度的四倍。对温度敏感的部件或组件,等离子体蚀刻温度可以控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统已经预编程并集成到等离子体系统的软件中间。设置保存每个等离子处理的程序能轻松复制处理过程。可以通过向等离子体室中引入不同气体，改变处理过程。常用的气体包括O2、N2,Ar,H2和CF4。世界各地的大多数实验室，基本上都使用这五种气体单独或者混合使用，进行等离子体处理。等离子体处理过程通常需要大约两到十分钟。当等离子体处理过程完成时,真空泵去除等离子室中的污染物，室里面的材料是清洁,消过毒的,可以进行粘接或下一步程序。真空等离子清洗设备可以清洗各种材料的物体表面，包括金属、塑料、陶瓷、玻璃等。江苏宽幅等离子清洗机哪里买
摄像头模组需在DB前、WB前、HM前、封装前进行真空等离子清洗，活化材料表面，提高亲水性和黏附性能。山西半导体封装等离子清洗机厂商
汽车内外饰件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型，在喷漆、粘接、涂覆工艺前，可使用等离子设备对汽车内饰件、仪表板、储物盒、天窗导轨、车灯等内外饰件进行表面活化，确保后续工艺质量。等离子表面处理具有处理效果均匀。无明火室温处理，材料不易烫坏变形、环保无污染和适用范围广等优点，在汽车产业中也起着不可或缺的作用。①塑料内饰件粘接前经等离子处理可实现表面活化，改善表面润湿性，确保粘接质量。②大尺寸弯曲、凹凸非平面的内饰件可使用真空等离子清洗机高效、均匀地进行表面活化处理，不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。山西半导体封装等离子清洗机厂商
