安徽皮拉尼真空计设备公司

3. 电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力，适用于高真空和超高真空范围。（1）热阴极电离真空计原理：利用热阴极发射电子电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹⁰ Torr 到 10⁻³ Torr。优点：精度高、测量范围广。缺点：热阴极易损坏，需要较高维护。应用：高真空和超高真空系统。（2）冷阴极电离真空计原理：利用冷阴极放电电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹² Torr 到 10⁻³ Torr。优点：无需热阴极，寿命长。缺点：启动时间较长，稳定性稍差。应用：高真空和超高真空系统。哪些品牌的真空计质量更好？安徽皮拉尼真空计设备公司

其他角度对真空计进行分类，如根据测量范围、精度、使用条件等。不同类型的真空计在这些方面也有区别。例如，MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，具有小型化、低成本、高性能、易与CMOS集成电路兼容等特点。它能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求。不同类型的真空计在测量原理、测量范围、精度、使用条件以及适用场景等方面各有千秋。在选择真空计时，需要根据具体的测量需求、工作环境以及预算等因素进行综合考虑。同时，随着科技的不断发展，新型真空计的出现也将为真空测量领域带来更多的选择和可能性。 浙江mems皮拉尼真空计供应商真空计按原理如何分类？

皮拉尼真空计利用气体分子的热导率随压力变化而变化的特性来测量真空度。它包含一个封闭在室内的加热丝（通常为铂丝），该加热丝形成了惠斯通电桥的一个臂（电阻）。在测量过程中，加热丝由恒定电流加热，温度升高。当加热丝置于真空或低压气体环境中时，由于气体分子数量减少，加热丝的热导率降低，导致加热丝温度进一步升高。这一温度变化会引起导线电阻的变化，通过惠斯通电桥测量电阻变化，即可间接获得真空度的读数。皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳，内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路，并负责信号放大和信号数字化的工作。

旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积逐渐增大，正处于吸气过程；而与排气口相通的空间C的容积逐渐缩小，正处于排气过程；居中的空间B的容积也逐渐减小，正处于压缩过程。由于空间A的容积逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，***与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。真空计的读数可能会受到外部环境因素的影响。

电容式薄膜真空计（MEMS规）通过金属薄膜在压力下的形变改变电容值，量程覆盖10⁵~10⁻⁴ Pa，精度±0.25%。温度系数低（<0.01%/℃），适合宽温域应用。硅微加工技术制造的MEMS规体积*硬币大小，响应时间<1 ms。需避免颗粒物损坏薄膜，且腐蚀性气体会侵蚀电极。**型号内置自校准功能，长期稳定性优异。6. 麦克劳真空计（**压缩式）***真空计，通过压缩已知体积气体至毛细管，测量液柱高度差计算压力。量程10~10⁻⁴ Pa，精度±1%，但***静态测量。**蒸汽毒性限制其使用，现多被石英振子规替代。其原理仍作为真空计量标准，用于校准其他真空计。改进型油压缩规使用扩散泵油替代**，安全性提升。真空计使用过程中常见的问题有哪些？河北真空计供应商

电容真空计有哪些优点？安徽皮拉尼真空计设备公司

真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻² Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵ Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10 Hz以匹配工艺控制节奏。14. 真空计的寿命与维护热阴极规寿命约1~2万小时（灯丝断裂）；冷阴极规可达10万小时。维护包括：① 定期烘烤除气（200℃/24h）；② 避免油蒸气污染；③ 检查电缆绝缘（高阻抗易受干扰）。故障模式中，灯丝开路占70%，陶瓷绝缘劣化占20%。安徽皮拉尼真空计设备公司