传统的回流焊接常需使用助焊剂来提升焊料的润湿性,但助焊剂会引发诸如空洞和残留物等问题。空洞可能导致局部热点及应力裂纹,而残留的助焊剂会与水蒸气反应形成酸性溶液,影响设备的长期可靠性。无助焊剂回流焊接方法提供了一种解决方案,其中甲酸蒸气用于去除金属表面的氧化物。甲酸蒸气在较低温度(150-160°C)下与金属氧化物反应,并在更高温度下回流焊接。该方法与真空系统结合使用,可有效去除空隙和氧化物,避免了助焊剂的使用和后续清洁需求。甲酸回流焊接是一种灵活的无助焊剂焊接工艺,适用于需要进一步扩散过程的应用,如引线键合焊接数据可追溯,便于质量管理。铜陵QLS-22真空甲酸回流焊接炉

在全球焊接技术的发展版图中,真空甲酸回流焊接技术已确立了其较高地位。它是在传统焊接技术面临诸多瓶颈,如助焊剂残留问题、焊接精度和空洞率控制难以满足半导体小型化和高集成度需求的背景下发展起来的。与传统焊接技术相比,其优势在于能够在真空环境下利用甲酸气体的还原性实现无助焊剂焊接,从根本上解决了助焊剂残留可能导致的器件腐蚀以及复杂清洗工序带来的成本和时间增加等问题。在温度控制方面,该技术展现出极高的精度,部分先进设备的温度控制精度可达 ±1℃,确保了焊接过程中温度的稳定性,为高质量焊点的形成提供了关键保障。真空度方面,设备能够达到 1 - 10Pa 的高真空环境,有效减少了空气对焊接过程的干扰,降低了氧化现象的发生概率,极大地提升了焊接质量。在气体流量控制上,也实现了精确调节,使得甲酸气体和其他保护气体能够以比较好比例参与焊接过程,进一步优化焊接效果。这种多参数协同控制的能力,使得真空甲酸回流焊接技术在全球焊接技术体系中脱颖而出,成为半导体封装等领域的选择技术之一。
铜陵QLS-22真空甲酸回流焊接炉真空甲酸回流焊接炉支持小批量试产。

在半导体制造中,传统回流焊常依赖液体助焊剂添加剂,以增强焊料对高氧化层金属的润湿性。然而,随着芯片尺寸不断缩小,工艺要求持续提升,这种方式逐渐暴露出诸多弊端。例如,在半导体的 Bumping 凸点工艺中,凸点尺寸日益微小,助焊剂清理变得极为困难。普通回流焊工艺极易因助焊剂残留产生不良影响,包括接触不良、可靠性降低,以及为后续固化工艺带来阻碍等。此外,助焊剂残留还可能引发腐蚀,威胁电子元件的长期稳定性与使用寿命,难以满足当今半导体行业对高精度、高可靠性的严苛需求。
一是更高的精度和稳定性。随着半导体器件集成度的不断提高,对焊接精度的要求将进一步提升。温度控制精度、真空度控制精度以及气体流量控制精度将不断优化,以满足更小尺寸焊点的焊接需求。同时,设备的运行稳定性将进一步增强,通过采用更先进的元器件和控制系统,降低设备故障率,提高设备的可靠性。二是更高的生产效率。在保证焊接质量的前提下,进一步提高升温速率和冷却速率,缩短焊接周期。同时,通过优化设备结构和工艺流程,实现设备的自动化和智能化生产,提高单位时间的产量,满足大规模生产的需求。三是更强的环保性能。将更加注重节能减排,进一步降低甲酸和氮气等气体的消耗量,减少废气排放。同时,设备的材料选择和制造过程将更加环保,符合绿色制造的发展趋势。四是与新兴技术的融合。随着工业互联网、人工智能等技术的发展,真空甲酸回流焊接设备将实现与这些技术的深度融合。通过引入人工智能算法,实现焊接工艺参数的自动优化和故障的智能诊断;利用工业互联网技术,实现设备的远程监控和管理,提高生产的智能化水平。适用于半导体封装焊接环节。

真空甲酸回流焊接炉的典型应用场合有:其一半导体封装: 芯片贴装(功率器件、射频器件、汽车电子)、共晶焊接(金锡、锡银)、晶圆级封装、2.5D/3D芯片堆叠互连、倒装焊(低空洞要求高时)。其二光电子器件: 激光器、探测器、光模块的封装与贴装(对残留物和热管理要求严格)。其三微机电系统: MEMS器件封装(对残留物极其敏感)。其四航空航天与电子: 要求长寿命和高稳定性的电子组件。其五医疗电子: 植入式或关键设备中的电子部件封装。设备加热速度快,缩短预热时间。铜陵QLS-22真空甲酸回流焊接炉
焊接参数可预设,降低人为失误。铜陵QLS-22真空甲酸回流焊接炉
翰美半导体 (无锡) 有限公司是一家充满活力的科技创新研发型企业,坐落于风景如画的太湖之畔 —— 无锡扬名科技园。公司自 2023 年 10 月 26 日成立以来,始终秉持 “纯国产化 + 灵活高效 + 自主研发 + 至于至善” 的设计理念,在半导体设备领域迅速崭露头角。公司研发团队成员在德国半导体封装领域拥有长达 20 余年的深耕经验,这为翰美半导体带来了深厚的技术积累和国际化的视野。凭借着团队的专业能力,翰美专注于半导体封装设备的研发、制造和销售,致力于为半导体产业生产线提供高效、可靠的工艺设备和完善的解决方案,推动我国半导体产业朝着更高水平迈进。铜陵QLS-22真空甲酸回流焊接炉