甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正针对半导体制造全流程，打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案，覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别，其中用于光刻工艺的特种气体纯度高达 9N 级，金属杂质含量控制在 0.01ppb 以下，完全满足不同制程芯片的生产要求。提供从气体提纯、包装、运输到终端输送的全链条服务，配备痕量杂质检测实验室，每批次产品均通过 GC-MS（气相色谱 - 质谱联用仪）检测，确保各项指标达标；输送管道采用 316L 不锈钢材质，经电解抛光与钝化处理，内壁粗糙度≤0.2μm，避免颗粒产生与气体污染。某晶圆制造厂应用该解决方案后，整体工艺缺陷率降低 40%，设备维护周期延长 3 倍，年节约运维成本超 500 万元。根据 SEMI 数据，2023 年全球半导体用高纯气体市场规模达 58.7 亿美元，上海弥正凭借精细的工艺适配性与稳定的供应能力，成为国内多家晶圆厂的**供应商，助力半导体产业自主化发展。超高纯硫化氢纯度≥99.99%，用于金属硫化物薄膜制备与化学分析。甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正专为 Micro LED 显示技术打造超高纯气体解决方案，以 “高纯度 + 准确配比” 助力实现更高亮度、更高对比度的显示画质。方案重心气体包括用于 LED 外延生长的超高纯氨气、硅烷、三甲基镓，以及用于转移与封装的超高纯氮气、氩气，其中外延用气体纯度均达 6N 级以上，金属杂质含量≤0.05ppb，确保 Micro LED 芯片的发光效率与波长一致性。在蓝宝石衬底的氮化镓（GaN）外延层生长中，超高纯氨气作为氮源，其纯度直接影响外延层的晶体质量，进而决定 LED 芯片的亮度与寿命；在巨量转移与封装环节，惰性保护气可防止芯片氧化与污染，保障显示面板的可靠性。提供定制化的混合气调配服务，可根据客户外延工艺需求，准确控制各反应气体的比例，配比精度达 ±0.1%。某显示技术企业应用该方案后，Micro LED 芯片的外延层均匀性提升至 99%，发光亮度突破 2000nits，对比度达到 100 万：1，其生产的 Micro LED 显示屏在商用市场备受青睐。江苏氙气超高纯气体检测分析超高纯气体广泛应用于电子、光伏、医疗等领域，推动制造业发展。

上海弥正率先采用 100% 绿电（光伏与风电）驱动的电解水制氢工艺，生产超高纯氢气（6N 级纯度），实现从生产源头的低碳化，助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料，通过可再生能源发电进行电解，全程无化石燃料消耗，每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上，完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后，氢气纯度稳定在 99.9999%，杂质含量≤1ppb，不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料，为氢能交通提供动力，也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系，为使用客户配套氢气回收与纯化装置，回收率可达 85%，回收后的气体经处理可再次达到超高纯标准循环使用。某新能源汽车企业应用该绿电制氢产品后，其燃料电池系统的碳排放量降低 60%，获得欧盟 “绿色氢能” 认证；某光伏企业将其用于多晶硅还原，年碳排放减少 1.2 万吨，成功入选绿色工厂名单。

上海弥正超高纯乙硼烷（5N 级纯度），专为 FinFET、GAA（全环绕栅极）等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计，以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术，将杂质含量控制在极低水平，其中磷、砷等杂质含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中，它能提供高浓度的硼离子，实现对半导体材料的准确、浅度掺杂，形成高性能的 P 型半导体层，其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压，对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案，可根据客户工艺需求，将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气，采用不锈钢管道输送，配备在线浓度监测与自动报警系统，确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后，GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V，开关电流提升 20%，成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。超高纯六氟化硫纯度达 99.999%，用作高压电气设备绝缘气体。

上海弥正为高校、科研机构提供科研级超高纯气体供应服务，涵盖物理、化学、材料科学等多个研究领域，以 “高纯度 + 高稳定性” 助力前沿研究开展。可提供 5N-9N 级多种超高纯气体，包括稀有气体、活性气体、特种气体等，部分气体纯度可达 99.9999999%（9N 级），杂质含量控制在 ppt 级别，满足精密实验要求。提供小批量、多品种的灵活供应模式，小包装规格为 1L，支持单一气体与混合气体定制，混合气体配比精度达 ±0.01%。配备专业科研服务团队，可根据实验方案提供气体选择建议与使用指导，协助客户解决实验过程中的气体相关问题；同时提供快速配送服务，科研急需气体可实现 24 小时内送达。某高校材料科学实验室应用后，纳米材料制备实验成功率提升 40%，实验数据重复性达 98%；某科研机构使用后，精密仪器分析精度提高，研究成果发表效率提升，成为科研领域可靠的气体供应商。超高纯氩气与氢气混合气，适配金属热处理，提升材料韧性。甲烷超高纯气体半导体制造

超高纯气体经精密纯化，杂质含量控制在 ppb 级，保障制造质量。甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正创新性地从发酵工业副产品中提纯制备生物基超高纯二氧化碳（5N 级纯度），实现资源循环利用，为食品与医药行业提供更安全、更环保的绿色气体选择。该工艺以乙醇发酵、啤酒酿造等工业的副产品二氧化碳为原料，通过水洗、脱硫、精馏、吸附等多道提纯工序，将硫化物、苯类、重金属等有害杂质含量控制在 0.1ppb 以下，纯度达 99.999%，完全符合 GB 10621-2022 食品添加剂标准与药典标准。相较于传统化工合成法，该工艺每生产一吨气体可减少约 3 吨的二氧化碳排放，兼具环保与经济价值。在食品领域，可用于碳酸饮料的充气与果蔬的气调保鲜，无化学残留，口感更纯净；在医药领域，可用于腹腔镜手术的 insufflation 气体与细胞培养环境的 pH 值调节。某啤酒企业将其用于旗下碳酸饮料生产，产品通过 “碳中和” 认证，市场销量提升 18%；某生物制药企业使用后，细胞培养的存活率与活性均有明显提升，生物制剂的批次稳定性更佳。甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正气体有限公司汇集了大量的优秀人才，集企业奇思，创经济奇迹，一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地，绘画新蓝图，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的信誉，信奉着“争取每一个客户不容易，失去每一个用户很简单”的理念，市场是企业的方向，质量是企业的生命，在公司有效方针的领导下，全体上下，团结一致，共同进退，**协力把各方面工作做得更好，努力开创工作的新局面，公司的新高度，未来上海弥正气体供应和您一起奔向更美好的未来，即使现在有一点小小的成绩，也不足以骄傲，过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验，才能继续上路，让我们一起点燃新的希望，放飞新的梦想！