酷尔森环保科技(上海)有限公司干冰清洗技术要点与挑战工艺参数精密控制:压力: 通常使用较低压力(如 2-10 bar),远低于常规工业干冰清洗,以避免对精密部件造成损伤或导致微粒嵌入软性材料。干冰颗粒尺寸: 使用非常细小的颗粒(如米粒级或更细),以获得更温和、更精细的清洁效果。喷射距离与角度: 需要精确控制喷嘴到目标的距离和喷射角度,优化清洁效率同时**小化潜在影响。流量: 根据污染程度和部件敏感度调节干冰流量。微粒控制:干冰冲击会将污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系统是必不可少的配套设备,必须能即时、彻底地吸走剥离下来的污染物和升华的CO₂气体,防止二次污染。系统需要高过滤效率(HEPA/ULPA级别)。静电控制:高速气流和干冰颗粒撞击可能产生静电。在半导体洁净室环境中,需要考虑静电消散措施,如使用防静电喷嘴、接地设备、或引入可控的电离气流。材料兼容性:虽然对大多数硬质材料安全,但对于非常脆弱的涂层、软性金属(如金线)、裸露的精密电路、某些塑料或复合材料,仍需进行严格的兼容性测试,确认不会造成损伤(如微凹痕、划痕、涂层剥离)。干冰雪花颗粒尺寸微小(1-200µm),质地柔软,能实现对精密部件和敏感材质的无损清洁。浙江进口干冰清洗联系方式
酷尔森环保科技的干冰清洗为芯片制造业提供了一种不可替代的、先进的清洁解决方案,尤其在高价值、高精度的半导体制造设备的维护保养方面优势突出。其无残留、非研磨、干燥、可在线操作和环保的特性,完美契合了半导体行业对洁净度、生产效率和环境友好性的严苛要求。随着技术的不断进步(如更精密的颗粒控制、更智能的自动化系统、更好的微粒回收技术),干冰清洗在半导体制造领域的应用范围和重要性将持续提升,成为维持前列芯片制造良率和设备稳定运行的关键技术之一。封装与测试环节:模具、封装设备部件: 清洁封装设备(如键合机、塑封机)模具表面、顶针、传送带等部件上的溢料、脱模剂残留、环氧树脂等。测试插座、探针卡: 去除探针卡、测试插座接触点上的氧化物、有机物残留、助焊剂残留等,确保良好的电接触。需要极其精细的控制以避免损坏精密探针。PCB板/基板预处理: 在键合或组装前,清洁PCB或基板表面的氧化物、指纹、油脂等轻微污染物。工具与治具清洁:晶圆载具: 清洁用于传输和存储晶圆的卡匣、FOUP/FOSB门、内部表面上的微粒、有机物残留和静电吸附的灰尘。浙江进口干冰清洗联系方式家电生产中,ICEsonic 设备能清洁空调换热器油污与模具塑料残留,提升产品质量与生产效率。

热处理设备清洁:应用对象: 热处理炉(气氛炉、真空炉、淬火槽)、料盘、工装夹具、淬火介质循环系统。问题: 炉膛内壁、辐射管、马弗罐上的积碳、油污;料盘和夹具上的氧化皮、淬火盐残留、油渍;管道内壁结垢。干冰优势: 有效去除积碳和油污,恢复炉膛热效率,保证炉内气氛纯净和温度均匀性。清洁料盘夹具确保工件定位准确和热处理效果。清理管道提高介质流动性和热交换效率。无水无化学残留,不影响热处理工艺。烟气处理与环保设备清洁:应用对象: 除尘器滤袋/滤筒、管道、风机叶轮、换热器、SCR/SNC反应器、消白烟设备。问题: 滤袋/滤筒堵塞;管道和风机叶轮积灰(有时粘性大);换热器表面结垢;催化剂模块堵塞。干冰优势: 在线清洁滤袋/滤筒效果***,延长滤材寿命,维持系统负压和通风量。高效去除各种粉尘和结垢,恢复设备效率。清洁催化剂模块保持其活性。无水,避免灰分板结更难清理。电气设备与控制系统:应用对象: 电机外壳、控制柜、配电盘、传感器(高温计、测厚仪等)、接线盒。酷尔森环保科技(上海)有限公司的干冰清洗设备可以解决上述问题。
清洁各种高功率光纤连接器和其他组件光学元件清洁、光学涂层制备/清洁光电传感器和医疗设备清洁半导体和生物医学组件表面清洁。应用场景:汽车涂装线,化妆品包材涂装线,半导体涂装线等。*系统主要由液态CO2储罐,增压设备,耐高压耐低温管路,雪花清洗控制系统,机器人(往复机),喷嘴模块等组成。*根据客户产品清洗需求不同,酷尔森coulson雪花清洗系统喷嘴模块数量可分单喷嘴模块和多喷嘴模块,以适应不同产品形状和不同节拍的需求。*独特的喷嘴设计,使设备运行不堵塞、不结露、清洗能力强,运行稳定无间隔等特点,特别适合汽车零部件,化妆品包材等产品的表面清洁。干冰是固态二氧化碳(-78.5℃)。清洗时,干冰颗粒在压缩空气加速下冲击清洗表面。

沉积 / 刻蚀腔体及部件清洁清洁对象:CVD(化学气相沉积)腔体、PVD(物***相沉积)靶材、刻蚀机反应室(内壁、喷头、电极)。污染问题:沉积过程中,薄膜材料(如 SiO₂、SiN、金属 Cu/Al)会在腔体壁、靶材边缘沉积,形成 “结垢层”,积累到一定厚度会剥落并污染晶圆;刻蚀反应室中,等离子体与晶圆反应生成的聚合物(如 CF₄刻蚀硅产生的 CxFy)会附着在喷头和电极表面,导致刻蚀速率不均匀。干冰清洗作用:无需拆卸腔体(传统清洁需拆解,耗时 4-8 小时,且可能引入外界污染),通过酷尔森icestorm干冰颗粒的冲击和低温脆化效应,使结垢层(硬度较高的陶瓷或金属薄膜)与腔体基材分离,随气流排出。保护腔体内部精密部件(如石英喷头、金属电极):控制干冰颗粒尺寸(3-5mm)和压力(0.3-0.6MPa),可去除靶材边缘的沉积残留,同时不损伤靶材表面(靶材精度直接影响沉积薄膜的均匀性)。酷尔森作为干冰清洗技术的发明者,其技术为汽车零部件行业提供了一种高效且环保的清洁方案。浙江进口干冰清洗联系方式
干冰清洗适用于骨科器械(如PEEK材料)的去毛刺、硅胶模具的在线清洁以及医疗产品的表面处理。浙江进口干冰清洗联系方式
选择建议:按场景匹配严苛无水环境+多功能需求 → Coulson IceStorm45(如电力检修、精密实验室)。大型连续作业+环保优先 → Coulson IceStorm90(如食品厂、船舶维护)。精密电子/光学清洗 → 优先 TOOICE SP27D 或 德国 ICS(微颗粒控制)。成本敏感+本土服务 → 迪史洁 DSJet(售后响应快,适配中小产线)。行业趋势:湿冰技术因 节水 95% 以上 和 三重清洁机制(固/液/气态协同),在食品、制药等洁净需求高的领域逐步替代传统清洗。未来设备将更注重 能源优化(如 Coulson 的节能喷嘴设计)和 自动化集成。浙江进口干冰清洗联系方式