真空测量就是真空度的测量,而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的,并不十分合理。压力高意味着真空度低;反之,压力低意味着真空度高。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本书所述压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。压力是一个力学量,为单位面积所承受的力。大气压力为101325Pa,直接测量这样大的压力是容易的,但在真空技术中,测量这样大的压力是比较少的。真空技术中遇到的气体压力都很低,如有时要测10-10Pa的压力,这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此,测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象,然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量,再设法间接确定出真实压力来。例如先将被测气体压缩,使其压力增高,测出增高后的压力,再根据压缩比计算出原来的压力值,这就是所谓的压缩式真空计。也可以用一根热丝,测量气体热传导造成的某些结果,如热丝温度、电阻变化等,这就构成热传导真空计。还可以利用电子碰撞气体分子使之电离,用测得的离子流反应压力,这就是电离真空计。选择真空计的原则有哪些?安徽高纯度真空计生产企业

真空技术在生活中有着广泛的应用,它极大地改善了我们的生活质量,提高了生产效率,随着科技的进步和创新,真空技术的应用领域还将不断拓展和深化,并在多个领域发挥着不可替代的作用。医疗器械与医疗环境真空包装医疗器械:注射器、输液袋等医疗器械需要在无菌条件下使用,通过真空包装可以避免外界细菌的污染,确保使用时的安全性。医用真空负压机:在医疗环境中,医用真空负压机通过真空泵抽吸,使系统管路产生医用负压,用于伤口护理、手术室和隔离病房的洁净维护、液体输送以及实验室应用等。电力与能源真空断路器:电力系统中常见的一种开关装置,用于在电流过大或故障发生时切断电路。其基本原理是利用真空环境中的高绝缘性,避免电弧的形成和继续传导,保护电力设备和人身安全。真空泵在能源领域的应用:在石油和天然气开采过程中,真空泵用于提取和传输油气;在核能产业中,真空泵用于维护和管理关键系统;在可再生能源产业中,真空泵用于制造和维护高效的太阳能板和风力涡轮机组件。温州高精度真空计生产企业如果怀疑电容真空计出现故障,应及时进行检修或更换。

热传导真空计:利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。热传导真空计主要用于100~10^-1帕范围,采取特殊措施可扩大测量范围。不过,热传导真空计的指示不但和气体种类有关,而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响,故准确度不高,只作粗略的真空指示用。粘滞真空计:利用在真空中转动或振动的物体受气体分子阻尼作用而发生运动衰减的现象来测量气体压强。气体分子的阻尼力与压强有关。实际使用的粘滞真空计主要有磁悬浮转子真空计和振膜真空计。磁悬浮转子真空计利用可控磁场把不锈钢球悬浮在真空中,用旋转磁场把钢球加速到400转/秒,然后停止加速,任其自然衰减,用电子学方法精确测量其转速衰减率,从而确定压强。这种真空计具有很高的测量精度,吸气、放气速率小,压强指示受气体种类影响小,如钢球表面镀金则可在较恶劣的气氛下工作。然而这种真空计在高真空端的读数受振动影响较大,测量时间也较长。因此,它可作为1~10^-4帕范围内的副标准真空计或用作标准传递真空计。
利用带电粒子效用类真空计通过测量气体分子在电场或磁场中被荷能粒子碰撞电离后产生的离子流或电子流来推算真空度。典型**有热阴极电离规和冷阴极电离规。a)热阴极电离规通过加热阴极使其发射电子,进而与气体分子发生碰撞并电离。电离产生的离子流随压力变化,通过测量离子流的变化可以推算出真空中气体分子的密度,进而得到压力大小。热阴极电离规能够提供高精度的真空度测量,常用于科研和高精度工业领域。b)冷阴极电离规同热阴极一样,也是利用电离气体分子收集离子电流的原理,不同的是,冷阴极利用磁控放电电离气体分子产生离子。在测量过程中无需加热阴极,因此具有较低的能耗和更高的可靠性。它特别适用于需要长时间连续工作的场合,如大型科研设备和工业生产线。其测量精度和稳定性也相当出色。真空计如何选型与使用?

四极质谱仪(残余气体分析仪)通过质荷比(m/z)分析气体成分,结合离子流强度定量分压。质量范围1~300amu,检测限10⁻¹²Pa。需配合电离规使用,用于真空系统污染诊断(如检出H₂O峰提示漏气)。动态模式可实时监控工艺气体(如半导体刻蚀中的CF₄),校准需使用NIST标准气体。8.真空计的校准方法分直接比较法(与标准规并联)和间接法(静态膨胀法、流量法)。国家计量院采用二级标准膨胀系统,不确定度<0.5%。现场校准常用便携式校准器(如压强生成器),覆盖1~10⁻⁶Pa。温度、振动和气体吸附效应是主要误差源,校准周期建议12个月。ISO3567规定校准需在恒温(23±1℃)无尘环境下进行。真空计如何快速选型?无锡高质量真空计供应商
为什么真空计读数不变?安徽高纯度真空计生产企业
2. 热传导真空计热传导真空计通过气体热传导的变化来测量压力,适用于低真空和中真空范围。(1)皮拉尼真空计原理:利用加热丝的热量损失与气体压力之间的关系测量压力。测量范围:10⁻³ Torr 到 10 Torr。优点:响应快、成本低。缺点:受气体种类影响较大。应用:普通真空系统监测。(2)热电偶真空计原理:通过热电偶测量加热丝温度变化来间接测量压力。测量范围:10⁻³ Torr 到 10 Torr。优点:结构简单、稳定性好。缺点:精度较低。应用:低真空和中真空测量。安徽高纯度真空计生产企业
电容式薄膜真空计(MEMS规)通过金属薄膜在压力下的形变改变电容值,量程覆盖10⁵~10⁻⁴ Pa,精度±0.25%。温度系数低(<0.01%/℃),适合宽温域应用。硅微加工技术制造的MEMS规体积*硬币大小,响应时间<1 ms。需避免颗粒物损坏薄膜,且腐蚀性气体会侵蚀电极。**型号内置自校准功能,长期稳定性优异。6. 麦克劳真空计(**压缩式)***真空计,通过压缩已知体积气体至毛细管,测量液柱高度差计算压力。量程10~10⁻⁴ Pa,精度±1%,但***静态测量。**蒸汽毒性限制其使用,现多被石英振子规替代。其原理仍作为真空计量标准,用于校准其他真空计。改进型油压缩规使用扩散泵油替代**,...