在汽车制造业中，RPS（基准点系统）是保障零部件装配一致性的中心标准，东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检测方案已广泛应用于行业。RPS 遵循 “3-2-1 定位原则”，通过 3 个主定位点和若干辅助定位点限制零部件 6 个自由度，确保设计、制造、检测全流程定位统一。晟鼎精密的 RPS 检测设备支持接触式与非接触式双重检测模式，接触式通过三坐标测量机获取 RPS 定位点实际坐标，非接触式则利用激光扫描快速采集三维数据，两种方式均能精细输出偏差报告。该 RPS 方案的检具定位元件制造精度达到零部件公差的 1/3~1/5，销钉间距公差≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。通过 RPS 系统检测，可有效避免车身间隙不均匀、零部件干涉等问题，目前已成功应用于车身骨架、底盘件、车门等关键零部件生产，成为汽车行业高精度检测的中心 RPS 技术支撑。在汽车电子中确保恶劣环境下可靠性。河北国产RPS腔体清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。河北国产RPS腔体清洗适用于防腐涂层前处理的绿色表面活化。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，为文物保护提供了先进的数字化解决方案。文物保护对检测设备的精度与安全性要求极高，RPS 采用非接触式扫描方式，不会对文物造成任何损伤，可安全用于各类文物的数字化采集。RPS 设备的高分辨率扫描能力可精细捕捉文物的纹理、细节与尺寸信息，生成高精度三维数字模型，为文物修复、复制提供准确数据。在文物展览中，RPS 生成的三维数字模型可用于虚拟展览，让观众通过数字终端近距离欣赏文物细节；在文物研究中，研究人员可通过数字模型进行多角度分析，无需接触文物原件。该 RPS 文物数字化方案已应用于多家博物馆与文物保护机构，为文化遗产的传承与保护提供了有力的 RPS 技术支持。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司为 RPS 远程等离子体源客户提供多方位的售后技术支持与服务保障，解除客户使用顾虑。公司建立了专业的售后服务团队，通过电话、在线咨询等多种方式为客户提供及时的技术指导，解决设备使用过程中遇到的问题。对于需要现场服务的情况，RPS 售后服务工程师可快速响应，上门进行设备安装调试、维护维修等服务。晟鼎精密提供 RPS 设备的定期维护保养服务，根据设备使用情况制定维护计划，延长设备使用寿命；同时提供设备备件供应服务，确保备件及时到位，减少设备停机时间。该 RPS 售后技术支持与服务保障体系已获得客户的宽泛认可，成为客户长期合作的重要保障。在纳米材料转移过程中实现支撑层无损去除。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数，针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中，RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比，实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀；在工艺腔体清洁中，RPS 调节 NF3/O2 比例，确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统，可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标，根据反馈自动调整参数，维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库，客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快，能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求，成为高精度加工的中心 RPS 装备。用于气体传感器敏感薄膜的沉积后处理。重庆远程等离子源RPS远程等离子体源
远程等离子体（RPS）对真空腔体进行微处理，达到去除腔体内部水残留气体，减少残余气体量目的。河北国产RPS腔体清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司为客户提供 RPS 远程等离子体源的定制化工艺开发服务，满足个性化加工需求。针对不同客户的特定材料、加工要求，RPS 技术团队通过大量实验，优化工艺参数，开发专属工艺方案。在工艺开发过程中，RPS 团队与客户保持密切沟通，及时反馈实验结果，根据客户意见调整工艺方案；完成工艺开发后，为客户提供详细的工艺操作手册，并进行技术培训，确保客户能够熟练掌握。晟鼎精密建立了庞大的 RPS 工艺数据库，涵盖多种材料与加工场景，可快速为客户提供基础工艺方案并进行优化。该 RPS 定制化工艺开发服务已为多个行业的客户解决了特殊加工难题，成为客户信赖的 RPS 技术合作伙伴。河北国产RPS腔体清洗
