上海HRXRD检测分析

超薄HfO2薄膜XRR测试引言随着晶体管节点技术的发展，薄膜厚度越来越薄。比如高-栅介电薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在该技术节点的a20范围内。超薄膜的均匀性是制备Hf基栅氧化物的主要工艺难题之一。为了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度，XRR是的测量技术。由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是专业用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。不止如此——布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。PATHFINDERPlus光学器件有一个确保测得强度的线性的自动吸收器，并可在以下之间切换：电动狭缝，分光晶体。上海HRXRD检测分析

D2PHASER所具备的数据质量和数据采集速度远超目前人们对台式XRD系统的认知。紧凑轻便的外形和易于使用的设计，十分便于移动，您无需准备复杂的基础框架、大而笨重的工作台，也无需供应商前来安装和调整，只需准备标准的电源插座，然后花费几分钟的时间，即可完成从拆包到获得分析结果的过程。D2PHASERXE-T版D2PHASER配备了独特的LYNXEYEXE-T探测器，已然成为同类更好的选择！小于380eV的能量分辨率使其支持的数字单色器模式，可有效去除——不必要的辐射，如样品荧光，Kβ辐射以及轫致辐射——背景散射，而不会明显降低检测速度。江苏点阵参数精确测量XRD衍射仪在DIFFRAC.LEPTOS中，对多层样品的薄膜厚度、界面粗糙度和密度进行XRR分析。

D8ADVANCEPlus是D8ADVANCE的又一版本，是面向多用途、多用户实验室的X射线平台。它可理想地满足您对所有样品类型的需求，包括粉末、块状材料、纤维、片材和薄膜（非晶、多晶和外延）：典型的X射线粉末衍射（XRD）对分布函数（PDF）分析小角X射线散射（SAXS）和广角X射线散射（WAXS）X射线反射率（XRR)和高分辨XRD（摇摆曲线，倒易空间扫描）环境条件下和非环境条件下该系统的一大优势在于它能够在多达6种不同的光束几何之间进行切换：从用于粉末的Bragg-Brentano聚焦几何到用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1几何以及两者之间的切换。您只需按下按钮，整个软件尽在掌握。

所有维度都非常好的数据质量不论在何种应用场合，它都是您的可选的探测器：高的计数率、动态范围和能量分辨率，峰位精度布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976c）整个角度范围内的准直保证，面向未来的多用途采用了开放式设计并具有不受约束的模块化特性的同时，将用户友好性、操作便利性以及安全操作性发挥得淋漓尽致，这就是布鲁克DAVINCI设计，布鲁克获得的TWIN-TWIN光路设计极大地简化了D8ADVANCE的操作，使之适用于多种应用和样品类型。为便于用户使用，该系统可在4种不同的光束几何之间进行自动切换。该系统无需人工干预，即可在Bragg-Brentano粉末衍射几何和不良形状的样品、涂层和薄膜的平行光束几何以及它们之间进行切换，且无需人工干预，是在环境下和非环境下对包括粉末、块状物体、纤维、片材和薄膜（非晶、多晶和外延）在内的所有类型的样品进行分析的理想选择。支持全新技术进行定制，包括高性能X射线源、定制版光学器件、定制版样品台和多模式探测器。

对分布函数分析对分布函数（PDF）分析是一种分析技术，它基于Bragg衍射以及漫散射（“总散射”），提供无序材料的结构信息。其中，您可以通过Bragg衍射峰，了解材料的平均晶体结构的信息（即长程有序），通过漫散射，表征其局部结构（即短程有序）。就分析速度、数据质量以及对非晶、弱晶型、纳米晶或纳米结构材料的分析结果而言，D8ADVANCE和TOPAS软件是目前市面上性能较好的PDF分析解决方案：相鉴定结构测定和精修纳米粒度和形状。根据应用需求，调节探测器的位置和方向，包括0°/ 90°免工具切换以及探测器位置可连续变化、支持自动对光。江苏点阵参数精确测量XRD衍射仪

在DIFFRAC.LEPTOS中，进行晶片分析：分析晶片的层厚度和外延层浓度的均匀性。上海HRXRD检测分析

D8ADVANCEECO是市面上环保的X射线衍射仪，其应用范围、数据质量、灵活性和可升级性毫不打折扣。D8ADVANCEECO是功能齐全的D8ADVANCE版本，适用于所有X射线粉末衍射和散射应用。与D8ADVANCE完全兼容，它具有面向未来的所有灵活性。面对新应用，您随时都能对它轻松完成升级，从而适应未来实验室可能出现的任何X射线衍射和散射应用需求：相鉴定定量相分析微观结构分析结构测定和精修残余应力织构掠入射衍射（GID）X射线反射分析（XRR）小角X射线散射（SAXS）对分布函数（PDF）分析上海HRXRD检测分析