在液压缸端盖1019与液压缸配合处设置有液压缸端盖与液压缸密封圈1020;往复活塞机构为双活塞杆机构,往复活塞机构设置在液压缸内,活塞1016的直径与液压缸的圆柱内腔直径相配,在活塞1016与液压缸配合处设置有活塞密封圈1017,活塞1016一侧的活塞杆1015从液压缸的圆柱内腔底部的活塞杆过孔伸出,在活塞杆1015与作动器基体103上过孔配合处设置有活塞杆与液压缸密封圈1014,另一侧活塞杆1015在液压缸端盖1019中心的活塞杆孔内滑动,在活塞杆1015与液压缸端盖1019配合处设置有活塞杆与液压缸端盖密封圈1018,在液压缸端盖1019上的活塞杆孔的底部设置有平衡孔,平衡孔连通到弹性皮囊101与作动器基体103所形成的间隙;在伸出液压缸底部的活塞杆1015的端部设置有活塞杆铰接孔1012,在液压缸端盖1019上设置有作动器铰接孔1024。球形泵和电机集成在球形泵缸套内组成球形泵单元,在球形泵缸套的开口端设置有电机端盖102;球形泵包括球形泵缸体108、球形泵缸盖1010、球形泵活塞109、球形泵转盘107和球形泵主轴106,球形泵缸盖1010与球形泵缸体108都具有半球形内腔,连接形成球形内腔,球形泵缸盖1010与球形泵缸体108组合后。与伺服电机搭配使用时,行星减速电机可提升系统刚性,让机械臂的动作控制更jing准平稳。中山无刷行星减速电机加工中心

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