高性能螺杆真空泵操作规程

螺杆转子的端面型线（截面齿形）直接关系到泵的密封性、抽气效率和极限真空。早期多头转子因泄漏三角区大已较少使用。目前主流是单头转子型线，由圆弧（作为齿顶/齿根圆）和具有自啮合特性的过渡曲线（如渐开线、摆线）组成。常见的型线包括渐开线型、摆线型等。优化研究致力于消除型线上的尖点，形成连续光滑的空间接触线，以减少级间泄漏。例如，采用圆弧-摆线等距曲线、偏心渐开线、正弦螺旋线或椭圆弧等新型线，旨在提高啮合的连续性与密封性，从而提升抽速和极限真空度。型线设计需在理论性能与加工可行性之间取得平衡。

12 英寸晶圆生产线常用进口螺杆泵。高性能螺杆真空泵操作规程

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