工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。南京工业烤箱保养

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超高真空烘箱 

一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.

二、主要技术指标:

1、工作室温度范围:常温~ +300℃   用户使用温度260℃

2、温度波动度:    ±1.0℃(空载);

3、温度偏差:     常压温度试验:常温~200℃时±2℃  

200~300℃时±5.0℃

低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃,

100℃~200℃时±5.0℃

200℃~300℃时±7.0℃

4、 升降温速率:

升温时间:①常压时:90min(常温~ +260℃)

    ②低气压0.0001pa时:180min(常温~ +260℃)

降温时间:3℃~10℃/min(260℃~ 120℃), 1℃~5℃/min(120℃~ 常温℃)

降温方式:水冷降温

5、试验箱承压方式:采用内承压方式

6、压力范围:     常压~0.0001Pa 无尘工业烤箱卖怎样选择工业烤箱呢?合肥真萍科技建材告知您专业的方法。

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质量连续炉的产品特点:

1、双边配有链条传动,解决传送过程中跑偏的现象;

2、烘箱分段式加热,**电箱控制,方便操作,结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成,多段**;

3、PID温度控制,炉内温度均匀;

4、输送速度变频调速,调节自如,运行平稳,产能高;

5、每段**箱体设置废气排放接口,可外接到车间外面,避免车间废气污染。

质量连续炉的术参数:

1、送风方式:送风循环系统;

2、温度范围:RT+30℃~300℃;

3、温度精度:±1℃

4、温度均匀性:±1℃

5、温控装置:富士智能PID温控仪,LED数字显示,PID自动演算及定时;

6、材质:内胆不锈钢,外箱体钢板静电喷塑;

7、传送方式:链杆、链网、自动锟轮,相当强承重;

8、复合式电加热器;

9、保护装置:漏电保护、断路保护、电机过载保护、接地保护、非正常运行情况下蜂鸣报警。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的过滤系统:

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。

2.4 电路板控制模块,提供安 全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力格:单相220V 50Hz 0.95A,输出功率150W。

洁净节能氮气柜的柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。 烤箱由箱体,电气控制柜,电加热,风道,尘埃物过滤,N2 进气排气等部分组装而成,结构合理,功能实用。

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HMDS真空烤箱主要技术指标:

1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2. 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3. 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。

4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。

5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。

6 HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。

7. 低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)

8. 温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)

9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)


工业烤箱的运作原理是什么?厦门工业烤箱温度不均匀

工业烤箱怎么选?合肥真萍科技告诉您。南京工业烤箱保养

高温无氧固化烘箱 用途介绍:无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,模压固烤、IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

1、技术指标与基本配置:

1.1使用温度:RT~260℃,极限温度:300℃;

1.2炉膛腔数:2个,上下布置;

1.3炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:K分度

1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪;

2、氧含量(配氧分析仪):

2.1高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

2.2控温稳定度:±1℃; 2.3温度均匀度:±2%℃(260℃平台); 南京工业烤箱保养

合肥真萍电子科技有限公司位于安徽省合肥市,创立于2010-04-14。公司自成立以来,以质量为发展,让匠心弥散在每个细节,公司旗下[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]深受客户的喜爱。公司从事仪器仪表多年,有着创新的设计、强大的技术,还有一批**的专业化的队伍,确保为客户提供质量的产品及服务。公司自成立以来发展迅速,业务不断发展壮大,年营业额度达到500-700万元,未来我们将不断进行创新和改进,让企业发展再上新高。

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