浙江洁净室检测哪家好

高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 上海蔚亚科技保证洁净室及相关环境达到受控标准。浙江洁净室检测哪家好

高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

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风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越明显，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。

洁净室噪声检测设备声级计的结构

声级计由传声器、放大器、衰减器、计权网络、检波器、对数变换器、示波器、声级记录仪及显示仪表等部分组成。

(1)传声器。传声器是把声压信号转变为电压信号的装置，也称为话简，它是声级计的传感器。常见的传声器有晶体式、驻极体式、动圈式和电容式数种。

(2)放大器和衰减器。一般采用两级放大器，即输人放大器和输出放大器，其作用是将微弱的电信号放大。输人衰减器和输出衰减器是用来改变输人信号的衰减量和输出信号衰减量的，以便使表头指针指在适当的位置。输人放大器使用的衰减器调节范围为测量低端，输出放大器使用的衰减器调节范围为测量**。许多声级计的高低端以70 dB为界限。

(3)计权网络。为了模拟人耳听觉在不同频率有不同的灵敏性，在声级计内设有种能够模拟人 耳的听觉特性，把电信号修正为与听感近似值的网络，这种网络叫作计权网络。通过计权网络测得的声压级，已不再是客观物理量的声压级( 线性声压级)，而是经过听感修正的声压级，叫作计权声级或唱吉绍

其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 高效过滤器检测，洁净度检测——蔚亚科技。上海洁净工作台检测诚信推荐

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光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 浙江洁净室检测哪家好