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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。江苏电子厂房环境检测认真负责

粒子计数法

粒子计数法在欧洲通用，美国超高效过滤器检测方法也与之类似，这是目前国际上的主流检测方法。尘源为多分散相液滴，或确定粒径的固体粉尘。有时，过滤器厂商要按照用户的特殊要求，使用大气粉尘或其他特定粉尘。若检测中使用的是凝结核计数器，就必须使用粒径已知的单分散相检测尘源。主要检测仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器(CNC)。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检测，计数器给出每点的粉尘个数，还可以比较各点的局部效率。 河北实验室检测诚信推荐洁净室以空气悬浮粒子浓度为主要控制对象。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

FFU风机过滤单元  风机过滤单元（FFU）是一种空气自净装置，可室内吊顶安装或放置在支架上，使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。  风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。push——push过滤器代理，上海蔚亚科技。

使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁，应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的，而且运行正常，符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积，根据规范确定采样点数量，并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内，并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上，若采样点在洁净工作台上，则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置，拔下取样口的保护套，用皮管连接取样口和采样头，连通电源，按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上，点击采样图案，然后点击“开始”进行自净，直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后，将仪器放在1个点位，开始进行采集，直至第1个点所有次数全部检测完成，将仪器移至第二个点，重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后，将仪器进行自净后再关机，自净操作和步骤三一致。  洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。洁净室检测方便客户

检测是验证洁净室是否达标的一个指标。江苏电子厂房环境检测认真负责

沉降菌测定法：

沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下，取内径90毫米的无菌培养皿若干，无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升，倒置于30~35℃培养箱培养48小时，证明无菌后备用。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。