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1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等，种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求， 另一方面会影响加工的精响度，甚至会影响仪器的参数，从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件，电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房，为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度，另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。 上海蔚亚科技保证洁净室及相关环境达到受控标准。河北排风柜检测诚信推荐

1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑，包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外，为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外，净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用，末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用，应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施，如空气吹淋、传递窗等。此外，还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。

上海电子厂房环境检测值得推荐洁净室环境高效过滤器检漏测试——上海蔚亚科技。

在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束，洁净室波洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关团的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 蔚亚第三方检测测试范围较广。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 蔚亚科技认真做好检测服务，满足客户需求。上海实验室环境检测诚信推荐

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浮游菌

至少采样点数目对应悬浮粒子采样点数，工作区测点位置离地0.8-1.2m左右，送风口测点位置离开送风面30cm左右，关键设备或关键工作活动范围处可增加测点，每个采样点一般采样一次。

全部采样结束后，将培养皿放于恒温培养箱中培养，时间不少于48小时，每批培养基应该有对照实验，检验培养基是否污染。

沉降菌

工作区测点位置离地0.8-1.2m左右，将已制备好的培养皿置于采样点，打开培养皿盖，使其暴露规定的时间，再将培养皿盖上，将培养皿放于恒温培养箱中培养，时间不少于48小时，每批培养基应该有对照实验，检验培养基是否污染。

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