真空泵的维护检查油的位置。经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油。换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。天津真空泵价格
卧式往复真空泵一般为有油式,立式多为无油式。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。液环式真空泵制作液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。
罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气,在0°位置时,下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时,该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时,下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定,把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定,比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大),只能在微型真空泵范围内选型:在泵的抽气端要接很长的管道,或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭,或管道内孔很小(比如小于φ2毫米);在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件;泵抽气口与密闭容器连接,或该容器虽未密闭但进气量较小;泵抽气口与吸盘连接,用于吸附物体(如集成块、精密工件等);⑤泵的抽气端与过滤容器相连,容器口放置滤网,用于加速液体过滤。如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂,需要加液态水过滤器和冷凝器,起到一个过滤的作用。
低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整的系列,并研究开发出各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵。一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。化工防腐真空泵供货公司
真空泵达到一定临界压力时,往往抽速会减小。天津真空泵价格
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择获得设备。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,极少数用皮带或者传动链传动。天津真空泵价格
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