气相沉积的反应机理通常涉及多个步骤,包括气体的吸附、化学反应和沉积。首先,气态前驱体通过输送系统进入反应室,并在基材表面吸附。随后,吸附的前驱体分子在特定的温度和压力条件下发生化学反应,生成固态材料并...
射频等离子体电源技术:射频电源利用高频电磁场(如13.56MHz)激发气体,产生高密度等离子体,是半导体制造中化学气相沉积(CVD)和物***相沉积(PVD)的**设备。其优势在于等离子体均匀性高,可...
在生物医学领域,等离子体电源的应用正在逐渐崭露头角。在医疗器械的制造过程中,等离子体电源可用于对器械表面进行精细处理,增强其生物相容性和耐腐蚀性,降低植入人体后的排异反应风险。此外,等离子体电源还可用...
等离子体电源是一种专门设计的能量供应设备,用于产生、维持和控制等离子体状态。等离子体是物质的第四态,其存在需要特定的能量输入来使气体分子电离。等离子体电源的主要功能就是提供这种能量。它通常能够输出各种...
什么是脉冲功率技术?研究产生各种强电(纳秒级高压)脉冲功率输出的发生器系统及其相关技术。由初始储能技术(电容器储能、电感器储能、超导储能、机械储能、化学储能、核能等)产生所需的初级脉冲波形(毫秒到微秒...
等离子体电源是一种专门设计的能量供应设备,用于产生、维持和控制等离子体状态。等离子体是物质的第四态,其存在需要特定的能量输入来使气体分子电离。等离子体电源的主要功能就是提供这种能量。它通常能够输出各种...
等离子体电源的工作原理基于等离子体的产生和控制。等离子体是由高能电子和离子组成的高度电离的气体或液体。通过加热、电弧放电或射频激励等方式,将气体或液体转化为等离子体状态。等离子体电源通常包括电源单元、...
气相沉积技术**原***相沉积技术通过气相中的物理或化学过程改变工件表面成分,形成具有特殊性能的金属或化合物涂层。其**在于将气态物质传输至工件表面,经吸附、反应或冷凝形成固态薄膜。例如,化学气相沉积...
气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是一种广泛应用于材料科学和半导体制造的薄膜沉积技术。其基本原理是通过化学反应将气态前驱体转化为固态材料,并在基材表面形成薄膜。气...
热等离子体的矩还可以用来研究等离子体的输运过程。等离子体中的粒子和能量输运对于等离子体的稳定性和控制至关重要。通过研究矩的变化,可以揭示等离子体中粒子和能量输运的机制和规律,为等离子体物理学和工程应用...
粉末球化工艺优化采用多级等离子体炬阵列可实现粉末的梯度加热。以Al₂O₃陶瓷粉末为例,***级炬(8000K)完成颗粒熔化,第二级炬(6000K)调控表面张力,第三级炬(4000K)实现快速凝固。该工...
等离子体电源的性能取决于多个关键设计参数。其中包括加热元件的功率和温度控制能力,电场或磁场的强度和分布,以及气体或液体的供给速率和纯度。加热元件的功率和温度控制能力决定了等离子体的温度和密度,而电场或...