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在光学科技的浩瀚星空中,异形光学元件犹如一颗颗璀璨的星辰,以其独特的形态与卓yue的性能,在光电传感器、光学仪器等众多领域中熠熠生辉。作为新型光学元件的重要组成部分,异形光学元件不...
行业挑战与发展趋势1. 当前挑战极紫外光学的污染控制:EUV 光易被空气中的氧气、水蒸气吸收,需在真空环境(压力 <10⁻⁶Pa)中加工与检测,且镜面颗粒污染(>5nm)会导致散射...