半导体废气处理服务商

低温等离子体，低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。废气处理是维护生态平衡和人类健康的重要举措，必须得到足够重视和投入。半导体废气处理服务商

吸收法，吸收法是利用一种溶剂对有机废气中各组分的溶解度不同，将有机废气中各组分分离的 工艺。常用的吸收剂有柴油、煤油、轻质柴油等重质油及相关的烃类化合物，若选用合适 的吸收剂，可回收有机废气中的有机物。该方法适用于处理低浓度的有机废气，优点是成 本低，缺点是再生较困难、能耗较大、设备庞大、溶剂消耗量大。吸附法，吸附法是利用吸附剂对有机废气中各组分的吸附容量不同，将有机废气中各组分分离的工 艺。常用的吸附剂有活性炭、活性氧化铝、人工氟石、炉灰渣等。该方法适用于处理低浓 度、小风量的有机废气，优点是简单易行、净化率高、回收率高、无二次污染，缺点是吸附 剂需再生或更换，吸附剂成本较高。甘肃废气处理装置废气处理过程中应注重数据的收集和分析，为优化处理方案提供依据。

浓缩转轮/焚烧炉RotorConcentrator/Oxidizer，浓缩转轮/焚烧炉系统吸附大风量低浓度挥发性有机化合物(VOCs)。再把脱附后小风量高浓度废气导入焚烧炉予以分解净化。大风量低浓度的VOCs废气，通过一个由沸石为吸附材料的转轮，VOCs经被转轮吸附区的沸石所吸附后净化的气体经烟囱排到大气，再于脱附区中用180℃~200℃的小量热空气，将VOCs予以脱附。如此一高浓度小风量的脱附废气在导入焚烧炉中予以分解为二氧化碳及水气，净化的气体经烟囱排到大气。这一浓缩的工艺较大程度上地降低燃料费用。

吸收法，吸收法可分为化学吸收及物理吸收，由于有机废气中含有大量的“三苯”气体，化学活性低，一般不能采用化学吸收。物理吸收是废气中一种或几种组分溶解于选定的液体吸收剂中，这种吸收剂应具有与吸收组分有较高的亲和力，低挥发性，同时还应具有较小的挥发性，吸收液饱和后经加热解吸再冷却重新使用。优点：适合于温度低、中高浓度的废气，能够有选择性地吸收硫化氢等废气，工艺流程简单，且不需外加蒸汽和外加其他热源。缺点：需配备加热解析冷凝等回收装置，装机体积大、投资较大，同时还存在二次污染，净化效果不理想。废气处理过程中应注重预防和控制相结合的原则，减少污染物的产生和排放。

催化燃烧法，催化燃烧是在催化剂的作用下，将废气中的有害可燃组分完全氧化为二氧化碳和水的过程。优点：催化燃烧器净化率高、工作温度低、能量消耗少、对可燃组分浓度和热值限制少，操作简便和安全性好。缺点：有的气体燃烧条件苛刻，需高温、高空和高水蒸气分压，因此催化剂必须具备较高的活性、高热稳定性和较高的水热稳定性，以及一定的抗中毒能力。活性炭吸附法，活性炭吸附是将有机废气由排气风机送人吸附床，有机废气在吸附床被活性炭吸附剂吸附而使气体得到净化，净化后的气体排向大气即完成净化过程。优点：吸附率高，运行能耗低，费用成本低，安全可靠，适用于有爆裂的危险场所，吸附剂可以回收，节能环保。缺点：不耐高温，在湿润的条件下不能保持很好的吸附能力；易燃，较快达到饱和吸附而失去效用；产生二次固体或液体污染物。废气处理设备的智能化和自动化是未来发展的趋势，能够提高处理效率和精度。半导体废气处理服务商

合理的废气处理设备能够有效净化废气中的有害物质。半导体废气处理服务商

所以，有机废气处理的氧化法分为以下方法：催化氧化法。现阶段，催化氧化法使用的催化剂有两种，即贵金属催化剂和非贵金属催化剂。贵金属催化剂主要包括Pt、Pd等，它们以细颗粒形式依附在催化剂载体上，而催化剂载体通常是金属或陶瓷蜂窝，或散装填料;非贵金属催化剂主要是由过渡元素金属氧化物，比如MnO2，与粘合剂经过一定比例混合，然后制成的催化剂。为有效防止催化剂中毒后丧失催化活性，在处理前必须彻底清理可使催化剂中毒的物质，比如Pb、Zn和Hg等。如果有机废气中的催化剂毒物、遮盖质无法清理，则不可使用这种催化氧化法处理VOC。半导体废气处理服务商