东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，针对柔性电子器件易受损伤的特性，打造了专属低损伤加工方案。柔性电子器件采用聚合物基底，传统加工方式易导致基底褶皱、破裂，而RPS通过远程传输设计，使高能离子在传输过程中被有效过滤，只让中性自由基作用于器件表面，从根本上避免物理损伤。在柔性OLED屏封装工艺中，RPS可精细活化基底表面，提升封装胶的附着强度，同时将基底温度控制在40℃以下，确保器件性能不受影响。RPS支持连续化生产模式，处理速度可达10米/分钟，且加工均匀性控制在±3%以内，完全适配柔性电子的量产需求。目前，该RPS方案已应用于柔性传感器、可穿戴设备等产品的制造，成为柔性电子行业高质量加工的中心RPS装备。在热电转换器件中优化界面接触电阻。安徽半导体RPS电源半导体
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，为机器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。机器人零部件的尺寸精度与装配精度直接影响机器人的运动性能，RPS 设备的测量精度可达 0.01mm，能够精细检测齿轮、关节等关键零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量扫描，可在短时间内完成大量零部件的质量筛查，提高生产效率。在机器人研发阶段，RPS 可扫描竞品零部件，获取三维数据用于设计参考；在量产阶段，RPS 通过实时检测及时调整生产工艺，确保零部件质量一致性。该 RPS 设备可与机器人设计软件无缝对接，生成的三维数据可直接用于设计优化与仿真分析。目前，RPS 已应用于工业机器人、服务机器人等产品的制造检测，成为机器人产业高质量发展的中心 RPS 技术支撑。广东远程等离子源RPS石英舟腔体清洗RPS用于晶圆清洗、刻蚀和薄膜沉积工艺，去除光刻胶和残留物。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数，针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中，RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比，实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀；在工艺腔体清洁中，RPS 调节 NF3/O2 比例，确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统，可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标，根据反馈自动调整参数，维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库，客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快，能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求，成为高精度加工的中心 RPS 装备。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，为工业物联网提供了精细的数据采集支撑，助力工业智能化升级。在工业生产场景中，RPS 可实时定位生产设备、物料、人员的位置信息，将数据上传至工业物联网平台，实现生产过程的可视化管理。RPS 定位数据与生产数据融合分析，可优化生产流程，提高生产效率；通过监测设备位置与状态，可实现设备的预防性维护，减少故障停机时间。RPS 定位系统具备低功耗、广覆盖的特点，可适应工业车间的复杂环境；支持多设备同时定位，满足大规模工业场景的应用需求。该 RPS 工业物联网解决方案已应用于智能工厂、智能制造园区等场景，成为工业物联网数据采集的中心 RPS 技术工具。在射频滤波器制造中实现压电薄膜的精确刻蚀。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，在光伏电池钝化工艺中实现重大突破，助力光伏产业提升发电效率。钝化工艺是提升光伏电池开路电压与填充因子的关键环节，RPS通过精细控制等离子体参数，在电池表面形成高质量钝化层，有效减少载流子复合。与传统钝化技术相比，RPS处理后的钝化层均匀性更好，表面态密度降低30%以上，使电池转换效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工，可适配182mm、210mm等主流硅片规格，单台设备每小时可处理2000片以上硅片，满足光伏产业量产需求。在成本控制方面，RPS通过优化气体配比与能量利用，使单位硅片处理成本降低15%。目前，该RPS钝化方案已被多家光伏企业采用，成为提升光伏电池性能的中心RPS装备。RPS远程等离子气体解离率高，效果可媲美进口设备。河北pecvd腔室远程等离子源RPS等离子体电源
Remote Plasma Source，RPS 通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。安徽半导体RPS电源半导体
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出 RPS 快速模具与 3D 打印的协同应用方案，整合两种技术优势，为客户提供更高效的生产解决方案。在产品研发初期，通过 RPS 3D 打印快速制作样品，进行外观与结构验证；当样品验证通过后，利用 RPS 快速模具进行小批量生产，满足市场测试需求。RPS 3D 打印具备快速成型、设计自由度高的优势，可制作复杂结构样品；RPS 快速模具则具备生产效率高、零件质量好的特点，可实现接近量产标准的小批量生产。两种技术的协同应用，实现了从样品研发到小批量生产的无缝衔接，大幅缩短了产品上市周期。该 RPS 协同应用方案已应用于智能装备、医疗设备等多个领域，成为企业产品研发与生产的高效 RPS 组合方案。安徽半导体RPS电源半导体
