RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源,针对第三代半导体(GaN、SiC)的加工特性进行了专项优化,成为该领域的中心加工设备。第三代半导体材料硬度高、脆性大,传统加工方式易产生表面损伤,RPS 通过中性自由基反应实现低损伤加工,避免表面微裂纹的产生。RPS 可精细控制工艺参数,适配 GaN、SiC 等材料的刻蚀与清洁需求,在保证加工精度的同时,比较大限度保护材料原有性能。在第三代半导体器件制造中,RPS 的高选择性刻蚀能力可实现不同材料层的精细分离,高深宽比加工能力满足器件微型化需求。该 RPS 设备运行稳定,工艺重复性强,可满足第三代半导体量产需求,目前已应用于功率器件、射频器件等产品的制造,为第三代半导体产业发展提供了关键的 RPS 技术支撑。在OLED显示面板制造中确保大尺寸基板均匀清洗。河南推荐RPS生产厂家

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出 RPS 快速模具与 3D 打印的协同应用方案,整合两种技术优势,为客户提供更高效的生产解决方案。在产品研发初期,通过 RPS 3D 打印快速制作样品,进行外观与结构验证;当样品验证通过后,利用 RPS 快速模具进行小批量生产,满足市场测试需求。RPS 3D 打印具备快速成型、设计自由度高的优势,可制作复杂结构样品;RPS 快速模具则具备生产效率高、零件质量好的特点,可实现接近量产标准的小批量生产。两种技术的协同应用,实现了从样品研发到小批量生产的无缝衔接,大幅缩短了产品上市周期。该 RPS 协同应用方案已应用于智能装备、医疗设备等多个领域,成为企业产品研发与生产的高效 RPS 组合方案。广东远程等离子电源RPS石英舟处理远程等离子的处理作用,是非常轻微的刻蚀,有一定的活性作用,主要与腔室内部的残余气体发生作用。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在智能交通领域的多个场景中得到应用,推动交通智能化发展。在城市交通管理中,RPS 可实时监测车辆位置与行驶状态,为交通流量调控提供数据支撑,缓解交通拥堵;在高速公路场景中,RPS 可实现车辆的精细定位与防撞预警,提升行车安全。RPS 定位技术与交通信号控制系统联动,可根据车辆流量自动调整信号灯时长,优化交通通行效率;在共享出行领域,RPS 可精细定位共享车辆位置,方便用户查找与归还。该 RPS 智能交通解决方案定位精度高、抗干扰能力强,可适应复杂的交通环境;通过与大数据、人工智能技术融合,不断提升交通管理的智能化水平。目前,RPS 定位技术已应用于多个智能交通项目,成为交通领域智能化升级的重要 RPS 技术。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源,在技术创新的同时注重环保与节能设计,符合绿色制造发展趋势。RPS 设备采用高效的气体利用技术,减少工艺气体的消耗与浪费,降低污染物排放;在等离子体生成过程中,通过精细的能量控制,提高能源利用效率,降低运行能耗。RPS 设备的工艺气体可根据加工需求精细配比,避免过量气体使用导致的环境污染;设备运行过程中产生的废气经过专门处理后再排放,符合环保标准。在节能方面,RPS 设备具备智能休眠功能,在闲置时自动降低能耗;中心部件的低功耗设计进一步减少了能源消耗。该 RPS 设备通过了多项环保与节能认证,成为半导体、电子制造等领域绿色生产的推荐 RPS 装备。晟鼎RPS有主动网络匹配技术:可对不同气体进行阻抗匹配,使得等离子腔室获得能量。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS定位技术,向智慧农业领域拓展,实现农业生产的精细管控。在大型温室大棚中,RPS可定位农业机器人、灌溉设备的实时位置,引导机器人精细完成播种、施肥、采摘等作业,定位误差控制在±5cm以内。通过RPS定位与传感器数据融合,可实现灌溉设备根据作物位置精细供水,避免水资源浪费,使灌溉效率提升30%。在畜禽养殖场景中,RPS可定位养殖设备与牲畜位置,监测牲畜活动轨迹,及时发现异常情况。RPS定位系统具备低功耗特性,适配农业户外场景的长期使用需求,且抗粉尘、抗潮湿能力突出。该RPS智慧农业方案已在多个现代化农场落地,帮助农户降低生产成本,提升农产品产量与质量,成为智慧农业发展的重要RPS技术支撑。为功率模块封装提供优化的界面散热处理方案。重庆推荐RPS型号

在声学器件制造中提升谐振性能。河南推荐RPS生产厂家

东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。河南推荐RPS生产厂家

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