北京水辅助激光水导激光加工研究进展

中科煜宸与福旭智能制造有限公司达成战略合作，双方在宁淮智能制造产业园联合打造水导激光精密加工基地，规划部署近百台水导激光智能加工设备。该基地预计2026年初建成投入运营，将重点面向陶瓷、复合材料、硬质合金、金刚石等硬脆材料提供专业加工服务。这一布局准确契合了国家“十五五”规划关于“建设现代化产业体系、加快经济社会发展 绿色转型”的战略部署，深度响应“坚持智能化、绿色化、融合化方向”的关键要求。该基地的建成运营，不 将填补国内大规模水导激光精密加工领域的空白，更将为我国制造业向绿色化、智能化、高精尖化转型提供有力支撑。公司围绕水导激光技术布局了完整的自主知识产权网络，形成了坚固的技术壁垒。北京水辅助激光水导激光加工研究进展

随着芯片集成度的不断提高，半导体晶圆的切割和减薄工艺对精度和无损伤提出了极高要求。传统金刚石刀片划片存在机械应力大、切割线宽宽、边缘崩边等问题；激光隐形切割虽然减少了表面损伤，但仍存在热影响。中科煜宸水导激光加工技术融合了两者的优点：激光能量被水射流准确聚焦，切割线宽可细至数十微米；水射流持续冷却，几乎无热影响区；无机械接触避免了应力损伤。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有丰富的技术经验，这些技术确保了中科煜宸水导激光在半导体材料加工中能够实现亚微米级精度、零崩边、无热损伤的加工效果，完全满足先进封装、MEMS器件、功率器件等高精尖半导体制造的需求。北京水辅助激光水导激光加工研究进展水射流在加工瞬间强力冲刷并带走熔渣与汽化产物，实现了无污染、无毛刺的超洁净加工表面，常省去二次处理。

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。

陶瓷基复合材料（CMC）是新一代航空发动机热端部件材料，其密度 为高温合金的1/3，使用温度却可提高200℃以上。然而，CMC由碳化硅纤维和陶瓷基体复合而成，材料极硬且各向异性，传统加工方式极易导致纤维拔出、层间开裂。中科煜宸水导激光加工技术成功攻克了CMC构件冷却孔的精密加工难题，并顺利通过评审。这一里程碑式的突破，标志着中科煜宸在航空发动机关键零部件先进制造领域跻身国内前沿行列。中科煜宸水导激光对CMC材料的完美加工能力，为航空发动机减重增效、提升推重比开辟了新路径。可以预见，随着中科煜宸水导激光技术的推广应用，国产航空发动机将更快迈入“陶瓷基复合材料时代”。中科煜宸水导激光技术实现激光精确性与水射流冷却性完美融合，开启精密加工“冷加工”全新范式。

印刷电路板（PCB）作为电子产品之母，其分板（切割成型）和微细钻孔的质量直接影响电子产品的可靠性和集成度。传统铣刀分板存在刀具磨损、粉尘污染、应力损伤等问题；二氧化碳激光不适合加工铜箔；UV激光加工则因热效应大，容易导致碳化和起泡。中科煜宸水导激光加工技术为PCB精密加工提供了全新思路。水导激光可同时切割PCB中的金属铜箔和有机基材，无需分步加工；水射流的冷却作用有效抑制了热积累，避免了碳化和起泡。采用中科煜宸水导激光加工的PCB，切割边缘整齐、无毛刺、无热损伤，微细钻孔的孔位精度高、孔壁光滑。在5G通信、可穿戴设备、汽车电子等对PCB精度要求极高的领域，中科煜宸水导激光技术正助力电子产品实现更小型化、更高集成度，为电子制造产业升级注入新动力。秉持“国际先进品质，本土高效服务”的理念，中科煜宸让国内企业能以更优成本获得精密加工能力。上海无崩边水导激光加工无损伤加工技术

在加工高反射性的铜、金等金属时，水导激光展现出优越的稳定性和效率，切口无氧化且毛刺极少。北京水辅助激光水导激光加工研究进展

中科煜宸在水导激光领域的发展历程，从技术突破到产品系列化、从单点应用到全行业拓展、从单打独斗到构建产业生态，短短数年间取得的成就令人振奋。展望未来，中科煜宸水导激光将继续深耕关键技术的迭代升级，向更高功率、更高精度、更智能化方向迈进；将加速拓展应用边界，从已成熟的航空航天、半导体、医疗器械领域延伸至新能源、光学制造、核工业等更多前沿领域；将持续完善产业生态，通过技术授权、加工服务、产线共建等多元模式，让水导激光技术惠及更多制造企业。中科煜宸C轮融资的完成、水导激光加工基地的建设、水导激光技术标准体系的构建，都是这一宏伟蓝图的重要拼图。我们坚信，中科煜宸水导激光将在不远的将来，成为全球高精尖精密加工领域一张闪亮的中国名片，为中国制造走向中国创造、中国智造贡献不可替代的力量！北京水辅助激光水导激光加工研究进展

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