广州两机水导激光加工研究进展

在半导体制造的后道封装环节，晶圆的划片切割直接影响芯片的成品率和封装成本。随着芯片制程不断微缩、晶圆尺寸不断增大，对划片精度的要求已提升至亚微米级，对切割损伤的控制则近乎零容忍。中科煜宸水导激光加工技术凭借其无热损伤、无机械应力、切割线宽细的优势，成为高精尖晶圆划片的理想选择。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有“双重支撑技术”、“柔性介质耦合技术”等关键技术，确保了中科煜宸水导激光在晶圆划片中的优异表现。加工后的晶圆切割边缘光滑无崩边、无微裂纹、无热影响区，芯片良率明显提升。无论是硅晶圆、碳化硅晶圆还是砷化镓晶圆，中科煜宸水导激光都能实现高质量、高效率的划片切割。火箭发动机喷管冷却通道精准打孔，水导激光保障航天发射安全。广州两机水导激光加工研究进展

金刚石刀具因其极高的硬度和耐磨性，普遍应用于高精密加工和难加工材料的切削。然而，金刚石刀具自身的加工成型同样困难。传统方法采用金刚石砂轮磨削，效率低、精度受限、复杂形状难以实现。中科煜宸水导激光加工技术为金刚石刀具的制造带来了变革。激光的高能量可以快速去除金刚石材料，而水射流的冷却有效抑制了金刚石的石墨化，保证了刀刃的锐利和寿命。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”和“适用于大尺寸金刚石的水导激光切割方法”，能够实现高质量、高效率的金刚石微粒加工。无论是PCD刀具的切割下料，还是CVD金刚石刀具的精密成型，中科煜宸水导激光都能以极低的成本、极高的精度完成，为超硬材料加工行业注入新活力。成都五轴水导激光加工服务对于PET薄膜、医用导管等热敏感聚合物，水导激光可在极低热输入下完成精密切割或打孔，避免材料熔化变形。

中科煜宸深知，一项新兴技术的成熟不 依赖于设备本身的性能，更需要完善的行业标准来规范市场、引导发展。2026年4月，在第十四届中国数控机床展览会现场，中科煜宸与国机集团苏州电加工机床研究所有限公司签署了 战略合作协议。双方将充分发挥中科煜宸在水导激光、超快激光技术等领域的研发积累和关键设备制造能力，以及苏州电加工在特种加工机床领域的行业地位和标准化建设优势，共同研制水导激光智能制造机床，共建水导激光技术标准体系，建成依托国家产业平台的水导激光技术中试验证产线。这一举措不 确立了中科煜宸在水导激光领域的技术引导者地位，更为整个行业的健康、有序发展奠定了坚实基础。

商业卫星的轻量化设计对蜂窝板、碳纤维面板等复合材料结构件的加工质量提出了极高要求。中科煜宸水导激光在切割这些材料时，能够实现无分层、无毛刺的整洁切边，完全避免传统加工导致的芯格塌陷或面板剥离。加工后的卫星结构件强度无损失，重量控制准确。同时，该技术还可用于卫星太阳能电池基板的精密切割，保证电池片的完整性和光电转换效率。这对于追求极度重量和性能的商业卫星制造商而言，是一项不可或缺的精密制造利器，有效提升了卫星的有效载荷比。产学研深度融合，中科煜宸持续突破水导激光技术应用边界。

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。可选配的在线监测系统能实时监控水束形态与加工状态，实现质量闭环控制与预防性维护，确保批量生产一致性。成都气膜孔水导激光加工技术优势

中科煜宸十余年深耕激光智造，铸就金属增材与激光制造全系列产品矩阵。广州两机水导激光加工研究进展

在“双碳”目标的时代背景下，制造业的绿色转型已成为必然趋势。水导激光技术作为一种集激光准确性与水射流冷却性于一体的绿色冷加工技术，具备无热损伤、高材料利用率、低废料排放等关键优势，完美契合“发展绿色制造、推进节能降碳改造”的政策导向。中科煜宸积极响应国家号召，将绿色发展理念贯穿于产品研发、生产制造、服务体系的全过程。中科煜宸水导激光加工技术有效减少了传统加工方式中的材料浪费和能源消耗，对培育新质生产力、构建现代化产业体系具有重要现实意义。选择中科煜宸，就是选择与绿色制造同行，共同守护蓝天白云的美好未来。广州两机水导激光加工研究进展

南京中科煜宸激光技术有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，南京中科煜宸激光技术供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！