企业商机
光刻机基本参数
  • 品牌
  • POLOS
  • 型号
  • BEAM
  • 类型
  • 激光蚀刻机
光刻机企业商机

大尺寸晶圆的高效处理:Polos-BESM XL的优势!Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计,写入区域达155×155 mm,平台重复性精度0.1 µm,满足工业级需求。搭配20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头,实时观测与多层对准功能使其成为光子晶体和柔性电子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer软件简化复杂图案设计,内置高性能笔记本实现快速数据处理62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。Polos-BESM 光刻机:无掩模激光直写,50nm 精度,支持金属 / 聚合物同步加工,适配第三代半导体器件研发。陕西PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

陕西PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸,光刻机

无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。广东德国桌面无掩模光刻机可以自动聚焦波长柔性电子制造:可制备叉指电容器与高频电路,推动5G通信与物联网硬件发展。

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微纳卫星对部件重量与精度要求苛刻,传统加工难以兼顾。Polos 光刻机在硅基材料上实现了 50nm 深度的微沟槽加工,为某航天团队制造出轻量化星载惯性导航陀螺结构。通过自定义螺旋型振动梁图案,陀螺的零偏稳定性提升至 0.01°/h,较商用产品性能翻倍。该技术还被用于微推进器喷嘴阵列加工,使卫星姿态调整精度达到亚毫牛级,助力我国低轨卫星星座建设取得关键突破。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

某材料科学研究中心在探索新型纳米复合材料的性能时,需要在材料表面构建特殊的纳米图案。德国 Polos 光刻机成为实现这一目标的得力工具。研究人员利用其无掩模激光光刻技术,在不同的纳米材料表面制作出各种周期性和非周期性的图案结构。经过测试发现,带有特定图案的纳米复合材料,其电学、光学和力学性能发生了remarkable改变。例如,一种原本光学性能普通的纳米材料,在经过 Polos 光刻机处理后,对特定波长光的吸收率提高了 30%,为开发新型光电器件和光学传感器提供了新的材料选择和设计思路 。Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品,推动无掩模光刻技术普及。

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德国 Polos 光刻机系列以其紧凑的设计,在有限的空间内发挥着巨大作用。对于研究实验室,尤其是空间资源紧张的高校和初创科研机构来说,设备的空间占用是重要考量因素。Polos 光刻机占用空间小的特点,使其能够轻松融入各类实验室环境。​ 尽管体积小巧,但它的性能却毫不逊色。无掩模激光光刻技术保障了高精度的图案制作,低成本的优势降低了科研投入门槛。在小型实验室中,科研人员使用 Polos 光刻机,在微流体、电子学等领域开展研究,成功取得多项成果。从微纳结构制造到新型器件研发,Polos 光刻机证明了小空间也能蕴藏大能量,为科研创新提供有力支持。低成本科研普惠:桌面化设计减少投入,无掩膜工艺降低中小型实验室门槛。上海PSP光刻机MAX层厚可达到10微米

用户案例broad:全球超500家科研机构采用,覆盖高校、研究所与企业实验室。陕西PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

某基因treatment团队采用 Polos 光刻机开发了微米级 DNA 递送载体。通过 STL 模型直接导入,在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窝状微孔结构,载体的 DNA 负载量达 200μg/mg,较传统电穿孔法提升 5 倍。动物实验显示,该载体在肝脏靶向递送中,基因转染效率达 65%,且免疫原性降低 70%。其无掩模特性支持根据不同细胞表面受体定制载体形貌,在 CAR-T 细胞treatment中,CAR 基因导入效率从 30% 提升至 75%,相关技术已申请国际patent。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。陕西PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

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浙江PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸 2025-10-20

教育领域:微纳科学的教学利器,Polos设备因其操作简便、安全稳定的特点,成为高校微纳科学教学的preferred工具。在荷兰代尔夫特理工大学的课堂上,学生利用POLOSµ完成微电极图案制作实验,将抽象的光刻原理转化为直观实践。设备的紧凑设计与低能耗特性,也适配了高校实验室的空间与预算限制,通过“理论+实操”的模式,为培养微纳加工领域人才提供了硬件支撑。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。***...

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