中源绿净的洁净室环境监测系统,在晶圆制造的光刻车间,超小粒径监测与电磁抗干扰功能结合,可保障光刻过程的环境稳定,避免微粒与电磁干扰影响光刻精度;在芯片封装的引线键合车间,系统与 FFU 的联动控制可快速应对洁净度波动,确保键合过程中芯片与引线的连接质量;在半导体材料仓储区,系统同步监测温湿度与微粒浓度,防止材料受潮或受污染,保障后续生产的原料质量。此外,系统还支持半导体行业特有的 “无尘室分区监测”,可根据车间内的洁净级别(如 1 级、10 级、100 级)划分监测区域,每个区域设置的监测参数与预警阈值,满足不同生产环节的差异化需求。中源绿净的洁净度环境监测系统,通过电子半导体行业的定制功能,为企业解决了行业特有的监测痛点,成为半导体生产过程中不可或缺的环境管控工具。中源绿净为 25 + 生物样本处理车间建模块化洁净室,样本污染率降为 0,检测准确性提升!激光洁净室

中源绿净践行节能理念,其 FFU 与洁净度联动系统采用低功耗设计,联动控制器待机功耗低至 5W,正常运行功耗 18W,配合 FFU 无级调速联动策略,相比传统固定风速运行模式,可降低整体能耗 35% 以上。系统支持智能休眠功能,在洁净度长期稳定达标时,自动将 FFU 调整至低风速休眠状态(0.25-0.3m/s),同时保持监测功能,当洁净度出现波动时,立即唤醒并调整风速。在 24 小时运行的电子车间,低功耗设计可减少电费开支;在偏远地区依赖太阳能供电的洁净室,低功耗可延长供电时间,保障联动监测连续性;在注重绿色生产的企业,系统可助力实现节能目标。适用场景包括节能要求高的企业、24 小时运行车间、偏远地区洁净室、绿色工厂等,系统采用高效电源管理模块,具备过压、过流、防反接保护功能,确保用电安全,低功耗运行不会影响联动响应速度与检测精度,数据传输与处理效率保持行业同等水平,同时系统散热少,不会对洁净室恒温环境造成干扰。深圳百万级洁净室监测中源绿净为 20 + 纳米材料厂打造模块化洁净室,粒径≥0.1μm 粒子控制达标,材料纯度提升!

中源绿净针对医疗场景优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现医疗洁净区实时联动管控,支持医院手术室、ICU 病房、新生儿重症监护室、生物安全实验室等场所的 FFU 联动,符合 YY 0033《无菌医疗器具生产管理规范》等医疗行业标准。系统采用壁挂式、吊顶式等多种安装方式,不占用医疗空间,运行时无电磁辐射,不会干扰医疗设备正常工作,联动响应时间低于 0.5 秒。在外科手术室,系统可根据手术过程中的洁净度数据,实时调节 FFU 风速,当手术器械更换、人员进出导致微粒浓度上升时,FFU 可立即提速,快速恢复洁净环境,降低术后风险;在 ICU 病房,系统可 24 小时不间断联动监测,为危重病人提供稳定的洁净呼吸环境。适用场景包括各级医院洁净区域、医疗器具生产车间、生物安全实验室等,系统支持与医院后勤管理系统对接,管理人员可远程查看各区域 FFU 联动状态,安排设备维护与校准,同时具备分级报警功能,不同等级的异常信息推送至对应医护人员与管理人员,确保快速响应,联动数据可用于医疗质量评估与医院等级评审,提升医院洁净环境管理水平。
中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。中源绿净模块化洁净室,可扩展单元数量达 50+,为 35 + 企业随产能增长灵活扩容!

中源绿净的洁净室环境监测系统,开发移动端报表查看功能,用户通过配套手机 APP,可随时随地查看洁净环境的各类报表,无需依赖电脑端,提升洁净管理的灵活性与效率。APP 支持的报表类型包括实时数据报表(当前各区域微粒、温湿度、压差数据汇总)、日报表(当日各指标日均浓度、超标次数、设备运行时长)、周 / 月 / 年报表(周期内数据趋势、达标率统计、报警事件汇总)、自定义报表(用户选择特定指标、特定区域、特定时间段生成的报表)。报表展示采用可视化图表(折线图、柱状图、饼图)+ 数据表格结合的形式,例如日报表中,用折线图展示当日微粒浓度变化,用柱状图对比各区域超标次数,用表格展示详细数值,直观且信息完整。中源绿净模块化洁净室,接地电阻≤4Ω,为 30 + 企业满足防静电接地要求!苏州在线洁净室在线监测系统
中源绿净为 25 + 基因编辑实验室打造模块化洁净室,防气溶胶污染,实验安全性提升!激光洁净室
中源绿净构建闭环式环境管控体系,其 FFU 与洁净度联动系统可与格力、美的、大金等主流品牌洁净空调系统协同联动,通过实时检测数据自动调节 FFU 风速与空调运行参数(新风量、回风比例、风机转速),形成 “FFU 局部调节 + 空调整体环境优化” 的协同模式,实现洁净环境的动态平衡。协同联动逻辑可自定义设置,支持按洁净等级、时间段、生产状态等条件设定触发阈值,避一设备过度运行导致的能耗浪费。在制药车间的生产高峰期,系统可同步提升 FFU 风速与空调新风量,快速响应环境波动;在夜间非生产时段,系统可同步降低 FFU 风速与空调运行负荷,维持基础洁净度的同时化节能。适用场景包括配备洁净空调系统的各类洁净室,协同联动响应时间小于 8 秒,可快速将超标环境恢复至合格状态,同时系统自动记录协同联动过程中的所有数据,包括触发时间、调整参数、环境恢复时长、能耗变化等,便于管理人员分析运行效率,进一步优化协同策略,降低整体运营成本。激光洁净室