洁净室基本参数
  • 品牌
  • 中源绿净
  • 型号
  • IOTMETA
  • 类别
  • 其他
  • 加工定制
洁净室企业商机

中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。​中源绿净的模块化洁净室,验收通过率 100%,已为 30 + 企业一次性通过第三方检测!手持式洁净室计数器厂家

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中源绿净提升项目落地效率,其 FFU 与洁净度联动系统具备快速部署与调试功能,联动控制器采用即插即用设计,通电后自动搜索并匹配 FFU 设备,支持批量设备接入(单控制器可同时适配 50 台 FFU),部署过程单人即可完成,单台 FFU 联动调试时间不超过 10 分钟。系统支持自动设备识别与参数配置,新 FFU 接入后可自动同步系统预设的联动阈值、风速范围等参数,调试过程简化,无需专业技术人员全程指导。在洁净室改造项目中,快速部署可减少对生产的影响;在紧急需求场景(如应急医疗、临时生产),系统可快速投入使用;在多车间批量部署项目中,可大幅缩短项目周期,降低施工成本。适用场景包括洁净室改造、紧急联动需求、批量部署项目、时间紧张的合规验收项目等,系统提供详细的部署指南与视频教程,现场人员可快速掌握操作流程,中源绿净提供远程调试支持,通过网络协助解决部署过程中的问题,无需频繁派遣技术人员上门,部署完成后系统自动进行自检,生成部署报告,确保所有 FFU 联动正常。​江苏洁净室洁净度监测中源绿净为 25 + 航天材料实验室打造模块化洁净室,洁净度 Class 3 级,满足材料研发需求!

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中源绿净的洁净室环境监测系统,内置能耗统计分析功能,可实时监测并统计系统自身及关联洁净设备(如 FFU、空调、除湿机)的能耗数据,帮助用户掌握能耗分布、识别节能空间、降低洁净管理的能源成本。系统的能耗统计覆盖两类设备:一是自身能耗,通过内置电能计量模块,监测单台设备的电压、电流、功率、耗电量,生成设备能耗日报 / 月报;二是关联洁净设备能耗,通过对接设备的智能电表,获取 FFU、空调等设备的能耗数据,汇总至同一平台。分析功能支持能耗趋势分析(如每日能耗变化、月度能耗对比)、能耗占比分析(如各设备能耗占总能耗的比例)、节能潜力分析(标注能耗异常高的设备,提示优化建议)。

中源绿净的洁净室环境监测系统,在晶圆制造的光刻车间,超小粒径监测与电磁抗干扰功能结合,可保障光刻过程的环境稳定,避免微粒与电磁干扰影响光刻精度;在芯片封装的引线键合车间,系统与 FFU 的联动控制可快速应对洁净度波动,确保键合过程中芯片与引线的连接质量;在半导体材料仓储区,系统同步监测温湿度与微粒浓度,防止材料受潮或受污染,保障后续生产的原料质量。此外,系统还支持半导体行业特有的 “无尘室分区监测”,可根据车间内的洁净级别(如 1 级、10 级、100 级)划分监测区域,每个区域设置的监测参数与预警阈值,满足不同生产环节的差异化需求。中源绿净的洁净度环境监测系统,通过电子半导体行业的定制功能,为企业解决了行业特有的监测痛点,成为半导体生产过程中不可或缺的环境管控工具。中源绿净模块化洁净室,能耗监测系统可节能 18%,为 50 + 企业年省电费超 5 万元!

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中源绿净满足合规与管理需求,其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 联动检测报告自动生成与导出,可按日、周、月、年或自定义时间段生成报告,包含洁净度数据、FFU 运行参数、联动调节记录、故障信息、过滤效率验证结果等关键信息,报告格式符合 GMP、ISO、GB 等行业标准,具备不可篡改特性。系统支持多种导出方式(U 盘导出、网络下载、邮件发送),导出格式兼容 Excel、PDF、CSV 等常用类型,可直接用于合规审核、内部质量评估、客户验收等场景。在制药企业的 GMP 审核中,PDF 格式报告可直接提交给监管部门;在企业内部质量分析中,Excel 格式数据可用于进一步统计与图表制作;在 FFU 维护验收环节,可快速导出过滤效率联动验证报告,证明维护效果。适用场景包括需要频繁出具联动报告的制药、医疗、电子等行业,系统支持报告模板自定义,可根据企业需求添加 LOGO、检测标准、审核人员等信息,报告生成过程自动化,无需人工整理数据,节省时间成本,同时支持报告批量导出与归档,便于长期管理与追溯。​中源绿净为 45 + 医疗器械研发室打造模块化洁净室,符合 ISO 14644-1 标准,研发效率提升!深圳万级洁净室

中源绿净模块化洁净室,可集成 FFU 数量达 100+,为 15 + 微电子产品车间均匀送风!手持式洁净室计数器厂家

中源绿净的洁净室环境监测系统,依托多协议通信技术打造高效的实时数据传输体系,并通过云端同步功能实现数据的集中管理与灵活调用,让用户摆脱本地设备的限制,随时随地掌握洁净环境动态。该系统支持以太网、4G/5G、LoRa、Wi-Fi 等多种传输方式,用户可根据现场网络条件选择适配方案:车间内布线完善的场景可优先采用以太网,传输速率达 100Mbps,数据延迟控制在 100 毫秒以内;户外或布线困难的区域可选用 4G/5G 无线传输,覆盖范围广且无需额外布线;洁净车间内对信号干扰敏感的场景,则可通过 LoRa 低功耗传输技术,在保障数据稳定的同时减少电磁干扰。手持式洁净室计数器厂家

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