中源绿净深耕光刻工艺监测需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计,整合高精度联动功能,支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测,通过 FFU 高精度无级调速(调节精度 ±0.01m/s),维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计,可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动,检测数据不受干扰,FFU 采用低振动设计,运行振动幅度小于 0.05mm,避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间,光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感,系统可通过 FFU 联动,快速消除人员移动、设备运行产生的微粒;在 LCD/OLED 面板光刻车间,系统可分布式部署 FFU 联动单元,覆盖不同光刻工位,确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等,系统支持与光刻设备联动控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净的模块化洁净室,新风量可调范围 10-50m³/h・人,为 25 + 企业按需节能!深圳无尘车间洁净室

中源绿净深耕工业系统整合,其 FFU 与洁净度联动系统支持与 MES(制造执行系统)无缝对接,实现 FFU 联动数据与生产数据、设备运行数据的联动分析,帮助企业优化生产流程。系统采用标准化数据接口,可自动将洁净度数据、FFU 运行参数、联动调节记录同步至 MES 系统,实现生产批次与洁净环境联动数据的一一对应,当洁净度出现异常时,可快速关联至对应生产环节,及时调整工艺。在半导体工厂,系统可将 FFU 联动数据与光刻设备运行参数联动,分析设备运行对环境的影响,优化生产节拍;在制药企业,联动数据可与药品生产批次信息整合,为产品质量追溯提供完整链条,当某一批次产品出现质量问题时,可通过 MES 系统快速调取对应时段的 FFU 联动记录,排查环境因素。适用场景包括已部署 MES 系统的制造企业、大型生产车间、智能化工厂等,对接过程无需改造现有系统,中源绿净提供专业技术团队进行参数配置与调试,确保数据传输的稳定性与准确性,联动分析可帮助企业发现生产过程中的环境优化点,提升产品合格率与生产效率。万级车间洁净室计数器使用说明书中源绿净的模块化洁净室,防火材料占比 100%,为 25 + 企业通过消防验收一次性达标!

中源绿净智能洁净室物联网平台,具备洁净设备(如 FFU、空气过滤器、传感器)远程运维功能,平台可实时采集设备运行参数(如 FFU 电机温度、过滤器压差、传感器供电电压),支持通过平台远程对设备进行参数调整(如修改 FFU 转速、校准传感器),远程运维响应时间≤2 秒,设备故障远程排查成功率达 80% 以上。电子厂洁净车间设备数量多、分布广,传统运维需人员现场巡检、调试,不耗时久,还可能因人员进出影响洁净度 —— 某电子厂洁净车间有 200 台 FFU,传统运维需 2 名工程师每天巡检 4 小时,每月产生运维成本约 1.5 万元,且人员频繁进出导致洁净区每月超标 2-3 次。该平台通过远程运维,工程师可在控制室查看所有 FFU 的运行状态,当某台 FFU 电机温度超过 80℃(正常阈值为 75℃)时,远程调整电机运行参数,若参数调整无效,再安排人员现场维修,减少不必要的现场操作。
中源绿净优化联动响应机制,其 FFU 与洁净度联动系统采用三级阈值联动设计,预设预警阈值、一级超标阈值、二级超标阈值,对应 FFU 的不同调节策略:预警时维持当前风速并持续监测,一级超标时小幅提升风速(0.05-0.1m/s),二级超标时全额提速并触发报警。系统支持阈值自定义设置,可根据行业标准、生产需求调整各级阈值范围,联动响应方式可灵活选择(风速调节、调节 + 声光报警、调节 + 设备停机)。在食品无菌灌装车间,当出现一级超标时,系统调节 FFU 风速,避免生产中断;当出现二级超标时,系统提速同时触发灌装设备暂停,防止不合格环境影响产品质量;在电子元器件封装车间,预警状态可提醒工作人员关注,无需立即调节风速,平衡管控与生产效率。适用场景包括各类洁净室,尤其是生产连续性要求高的场所,系统分级联动记录自动存储,包含阈值触发时间、调节幅度、恢复时长等信息,便于分析优化,同时支持多级报警推送(现场、管理人员、企业负责人),确保相关人员及时掌握情况,快速处理异常。中源绿净的模块化洁净室,安装周期比传统缩短 60%,已为 30 + 电子厂建成,洁净度稳定在 Class 5 级!

中源绿净践行节能理念,其 FFU 与洁净度联动系统采用低功耗设计,联动控制器待机功耗低至 5W,正常运行功耗 18W,配合 FFU 无级调速联动策略,相比传统固定风速运行模式,可降低整体能耗 35% 以上。系统支持智能休眠功能,在洁净度长期稳定达标时,自动将 FFU 调整至低风速休眠状态(0.25-0.3m/s),同时保持监测功能,当洁净度出现波动时,立即唤醒并调整风速。在 24 小时运行的电子车间,低功耗设计可减少电费开支;在偏远地区依赖太阳能供电的洁净室,低功耗可延长供电时间,保障联动监测连续性;在注重绿色生产的企业,系统可助力实现节能目标。适用场景包括节能要求高的企业、24 小时运行车间、偏远地区洁净室、绿色工厂等,系统采用高效电源管理模块,具备过压、过流、防反接保护功能,确保用电安全,低功耗运行不会影响联动响应速度与检测精度,数据传输与处理效率保持行业同等水平,同时系统散热少,不会对洁净室恒温环境造成干扰。中源绿净为 25 + 航天材料实验室打造模块化洁净室,洁净度 Class 3 级,满足材料研发需求!苏州0.5um洁净室颗粒物
中源绿净模块化洁净室,能耗监测系统可节能 18%,为 50 + 企业年省电费超 5 万元!深圳无尘车间洁净室
中源绿净贴合汽车电子行业发展需求,其 FFU 与洁净度联动系统支持汽车电子多工序 FFU 联动,覆盖汽车芯片、传感器、线束、PCB 板等部件的生产流程,可根据不同工序的洁净要求配置差异化联动方案,实现焊接、封装、测试、组装等环节的无缝衔接联动。系统支持与汽车电子工厂的生产管理系统对接,当某一工序洁净度超标时,可快速联动该工序及上下游工序的 FFU 调整运行状态,避免污染扩散。在汽车芯片制造车间,精密的芯片电路对微粒污染敏感,系统的高精度联动可提前预警风险并调节 FFU;在汽车传感器生产车间,传感器的感应元件易受微粒影响,设备可实时监测生产环境并联动 FFU;在线束加工车间,粉尘污染可能导致线束短路,系统可实时监测并提醒清理,同时联动 FFU 提速。适用场景包括汽车电子芯片车间、传感器生产车间、汽车线束制造洁净区等,系统具备抗振动、抗油污设计,可适应汽车电子生产车间的设备运行环境(如焊接设备振动、油污蒸汽等),FFU 联动参数支持快速换产适配,当生产不同型号产品时,可快速切换联动策略,满足多品种生产需求。深圳无尘车间洁净室