中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净的模块化洁净室，消防系统联动响应时间≤10 秒，为 55 + 企业提升安全保障！深圳百万级洁净室计数器厂家
中源绿净的洁净室环境监测系统，开发移动端报表查看功能，用户通过配套手机 APP，可随时随地查看洁净环境的各类报表，无需依赖电脑端，提升洁净管理的灵活性与效率。APP 支持的报表类型包括实时数据报表（当前各区域微粒、温湿度、压差数据汇总）、日报表（当日各指标日均浓度、超标次数、设备运行时长）、周 / 月 / 年报表（周期内数据趋势、达标率统计、报警事件汇总）、自定义报表（用户选择特定指标、特定区域、特定时间段生成的报表）。报表展示采用可视化图表（折线图、柱状图、饼图）+ 数据表格结合的形式，例如日报表中，用折线图展示当日微粒浓度变化，用柱状图对比各区域超标次数，用表格展示详细数值，直观且信息完整。百万级洁净室测试国家标准中源绿净模块化洁净室，地面防静电电阻稳定在 10⁶-10⁹Ω，为 40 + 电子厂减少静电损害！
中源绿净基于节能算法研发，其 FFU 与洁净度联动系统可根据洁净度实时数据与生产状态，智能优化 FFU 运行参数，相比传统固定风速运行模式，可降低能耗 35% 以上。系统支持 “洁净度达标时低速运行、生产高峰时动态调速、非生产时段休眠运行” 的多模式联动，同时通过 FFU 运行负荷均衡分配，延长设备使用寿命。在电子组装车间的夜间非生产时段，系统可将 FFU 风速降至 0.3m/s 阈值，维持基础洁净度的同时降低能耗；在制药车间的生产批次间隙，系统可根据洁净度恢复情况，逐步调整 FFU 风速，避免持续高速运行造成的能源浪费。适用场景包括 24 小时运行车间、节能要求高的企业、大型洁净室集群等，系统内置能耗统计模块，可自动记录 FFU 联动运行的能耗数据，生成节能分析报告，帮助企业优化联动策略，同时支持与园区能源管理系统对接，实现整体能耗管控，联动节能效果经第三方检测认证，长期运行可降低企业运营成本，兼顾环境管控与绿色生产需求。
中源绿净针对医疗场景优化设计，其 FFU 与洁净度联动系统可实现医疗洁净区实时联动管控，支持医院手术室、ICU 病房、新生儿重症监护室、生物安全实验室等场所的 FFU 联动，符合 YY 0033《无菌医疗器具生产管理规范》等医疗行业标准。系统采用壁挂式、吊顶式等多种安装方式，不占用医疗空间，运行时无电磁辐射，不会干扰医疗设备正常工作，联动响应时间低于 0.5 秒。在外科手术室，系统可根据手术过程中的洁净度数据，实时调节 FFU 风速，当手术器械更换、人员进出导致微粒浓度上升时，FFU 可立即提速，快速恢复洁净环境，降低术后风险；在 ICU 病房，系统可 24 小时不间断联动监测，为危重病人提供稳定的洁净呼吸环境。适用场景包括各级医院洁净区域、医疗器具生产车间、生物安全实验室等，系统支持与医院后勤管理系统对接，管理人员可远程查看各区域 FFU 联动状态，安排设备维护与校准，同时具备分级报警功能，不同等级的异常信息推送至对应医护人员与管理人员，确保快速响应，联动数据可用于医疗质量评估与医院等级评审，提升医院洁净环境管理水平。中源绿净为 25 + 航天精密部件车间打造模块化洁净室，部件洁净度提升，装配可靠性增强！
中源绿净的洁净室环境监测系统，移动端报表的优势在于打破时间与空间限制，让管理人员实时掌握洁净状态。传统报表查看需在电脑端登录管理平台，管理人员外出时无法及时获取信息，移动端报表支持随时随地查看，例如某制药企业的车间主任在出差途中，通过 APP 查看当日无菌车间的日报表，发现湿度略高，远程指导操作员调整空调除湿，避免超标；某电子企业的总经理在外地参加会议，通过 APP 查看月度报表，了解各车间洁净度达标率，无需等待下属汇报。此外，APP 支持报表分享功能，可将报表通过微信、邮件发送给团队成员或上级，方便协同管理，例如车间管理员将周报表分享给生产总监，共同讨论洁净管理优化方案。中源绿净为 20 + 航空航天实验室建模块化洁净室，气压差稳定在 10Pa，满足严苛实验要求！百万级洁净室检测
中源绿净为 55 + 化妆品厂打造模块化洁净室，浮游菌浓度≤1cfu/m³，产品合格率提升 12%！深圳百万级洁净室计数器厂家
中源绿净的洁净室环境监测系统，针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求，开发了多项定制功能，重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题，为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测，电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感，普通监测设备难以捕捉，而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器，可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测，监测分辨率达 0.1 粒 /m³，能及时发现车间内的微小微粒污染，避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。深圳百万级洁净室计数器厂家
