中源绿净满足合规与管理需求,其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 联动检测报告自动生成与导出,可按日、周、月、年或自定义时间段生成报告,包含洁净度数据、FFU 运行参数、联动调节记录、故障信息、过滤效率验证结果等关键信息,报告格式符合 GMP、ISO、GB 等行业标准,具备不可篡改特性。系统支持多种导出方式(U 盘导出、网络下载、邮件发送),导出格式兼容 Excel、PDF、CSV 等常用类型,可直接用于合规审核、内部质量评估、客户验收等场景。在制药企业的 GMP 审核中,PDF 格式报告可直接提交给监管部门;在企业内部质量分析中,Excel 格式数据可用于进一步统计与图表制作;在 FFU 维护验收环节,可快速导出过滤效率联动验证报告,证明维护效果。适用场景包括需要频繁出具联动报告的制药、医疗、电子等行业,系统支持报告模板自定义,可根据企业需求添加 LOGO、检测标准、审核人员等信息,报告生成过程自动化,无需人工整理数据,节省时间成本,同时支持报告批量导出与归档,便于长期管理与追溯。中源绿净的模块化洁净室,空气洁净度达标率 100%,已服务 45 + 企业通过行业认证!深圳净化车间洁净室在线监测系统

中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体车间内的电磁干扰问题,系统采用全金属屏蔽外壳与内部抗干扰电路设计,外壳接地电阻小于 1Ω,可有效阻挡车间内高频设备(如离子注入机、光刻机)产生的电磁辐射;内部电路采用差分信号传输技术,减少电磁耦合对数据采集的影响,确保在强电磁环境下,监测数据的误差仍控制在 ±3% 以内。某半导体企业的晶圆制造车间,曾因光刻机运行产生强电磁干扰,导致某品牌监测设备数据波动超过 10%,而中源绿净的系统在相同环境下,数据波动始终稳定在 2% 以内,保障了监测数据的可靠性。模块化洁净室悬浮粒子监测中源绿净模块化洁净室,接地电阻≤4Ω,为 30 + 企业满足防静电接地要求!

中源绿净针对化工行业特性开发,其 FFU 与洁净度联动系统采用耐腐蚀配置,联动控制模块外壳与采样通道采用 316L 不锈钢材质,部件经过抗腐蚀处理,可耐受化工生产过程中产生的酸雾、碱雾、有机溶剂蒸汽等轻微腐蚀性气体,避免化学物质导致的设备损坏。系统具备防爆设计(可选配 Ex ib IIB T4 防爆等级),可用于化工洁净区的危险区域(如溶剂储存区、反应釜周边)FFU 联动,符合化工行业安全要求。在化工原料精制车间,生产过程中产生的化学粉尘与腐蚀性气体易损坏传统联动系统,该系统可稳定实现 FFU 与洁净度的联动控制;在化工产品包装洁净区,设备可确保包装过程在合格环境中进行,避免产品因微粒污染导致的质量问题。适用场景包括化工原料生产车间、化工产品精制车间、化工包装洁净区、精细化工实验室等,系统支持与化工车间的安全监控系统对接,当微粒浓度超标或 FFU 出现故障时,自动同步至安全管理平台,便于工作人员及时采取安全措施,同时具备远程监控与维护功能,减少人员进入危险区域的次数,降低安全风险,联动数据可用于化工产品的质量追溯。
中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净为 25 + 航天精密部件车间打造模块化洁净室,部件洁净度提升,装配可靠性增强!

中源绿净的洁净室环境监测系统,在晶圆制造的光刻车间,超小粒径监测与电磁抗干扰功能结合,可保障光刻过程的环境稳定,避免微粒与电磁干扰影响光刻精度;在芯片封装的引线键合车间,系统与 FFU 的联动控制可快速应对洁净度波动,确保键合过程中芯片与引线的连接质量;在半导体材料仓储区,系统同步监测温湿度与微粒浓度,防止材料受潮或受污染,保障后续生产的原料质量。此外,系统还支持半导体行业特有的 “无尘室分区监测”,可根据车间内的洁净级别(如 1 级、10 级、100 级)划分监测区域,每个区域设置的监测参数与预警阈值,满足不同生产环节的差异化需求。中源绿净的洁净度环境监测系统,通过电子半导体行业的定制功能,为企业解决了行业特有的监测痛点,成为半导体生产过程中不可或缺的环境管控工具。中源绿净为 25 + 疫苗冷库配套模块化洁净室,过渡区设计减少冷量损失 25%!深圳万级洁净室检测标准对照表
中源绿净模块化洁净室,地面防静电电阻稳定在 10⁶-10⁹Ω,为 40 + 电子厂减少静电损害!深圳净化车间洁净室在线监测系统
中源绿净智能洁净室物联网平台,具备洁净设备(如 FFU、空气过滤器、传感器)远程运维功能,平台可实时采集设备运行参数(如 FFU 电机温度、过滤器压差、传感器供电电压),支持通过平台远程对设备进行参数调整(如修改 FFU 转速、校准传感器),远程运维响应时间≤2 秒,设备故障远程排查成功率达 80% 以上。电子厂洁净车间设备数量多、分布广,传统运维需人员现场巡检、调试,不耗时久,还可能因人员进出影响洁净度 —— 某电子厂洁净车间有 200 台 FFU,传统运维需 2 名工程师每天巡检 4 小时,每月产生运维成本约 1.5 万元,且人员频繁进出导致洁净区每月超标 2-3 次。该平台通过远程运维,工程师可在控制室查看所有 FFU 的运行状态,当某台 FFU 电机温度超过 80℃(正常阈值为 75℃)时,远程调整电机运行参数,若参数调整无效,再安排人员现场维修,减少不必要的现场操作。深圳净化车间洁净室在线监测系统