中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。中源绿净的模块化洁净室,门体密封性能达 10Pa 压力下泄漏率≤0.5m³/h,保障洁净度!深圳无尘室洁净室测试国家标准

中源绿净优化区域管控效率,其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 分组联动,可根据洁净室功能分区、洁净等级、生产工序将 FFU 划分为多个联动组,每个组响应区域内的洁净度变化,组内 FFU 协同调节,组间互不干扰,实现管控。系统支持组内 FFU 参数统一配置与单独调整,可根据各组需求设定差异化的联动阈值、风速范围、响应速度,平台可直观展示各组联动状态与洁净度数据。在大型电子制造车间,可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节分组,生产组采用高频联动,辅助组采用节能联动;在综合性医院洁净区,可按手术室、ICU、实验室分组,不同组适配不同的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多功能分区车间、复杂生产深圳十级洁净室颗粒物中源绿净为 40 + 生物疫苗车间建模块化洁净室,符合 WHO 标准,疫苗质量获国际认可!

中源绿净的洁净室环境监测系统,能耗统计分析的优势在于降低洁净管理的能源成本,同时提升能源利用效率。洁净室的能耗(尤其是空调、FFU)占企业总能耗的 30%-50%,系统通过能耗分析可发现节能空间,例如某电子企业通过分析,发现部分 FFU 在洁净度稳定时仍保持高风速,调整为变频运行后,FFU 能耗下降 25%;某制药企业发现夜间无人时段,洁净车间空调仍按白天参数运行,调整夜间温度设定后,月均节电 3000 度。此外,能耗数据可与洁净度数据联动分析,判断能耗变化对洁净度的影响,例如分析发现空调能耗降低 10% 后,洁净度仍保持达标,证明节能措施可行。
中源绿净的洁净室环境监测系统,以多参数同步采集为设计亮点,可同时捕捉洁净环境中的多项关键指标,为用户构建起全维度的环境感知体系,避一参数监测导致的环境状态误判。该系统能监测空气中 0.3μm、0.5μm、5μm 等多粒径段微粒浓度,同时兼容浮游菌、沉降菌等微生物指标采集,还可同步记录温度、湿度、压差、风速等辅助环境参数,形成完整的洁净环境数据链条。在参数采集过程中,系统搭载的高精度传感器组采用激光散射与阻抗法结合的技术,微粒浓度监测分辨率可达 1 粒 /m³,微生物监测可识别常见的细菌、类别,温湿度监测误差分别控制在 ±0.5℃、±3% RH 以内,确保各项数据的准确性与参考价值。中源绿净为 50 + 无菌医疗器械厂打造模块化洁净室,产品无菌合格率提升至 99.99%!

中源绿净针对局部管控需求优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现单区域联动,通过在关键工位、设备周边部署监测点与 FFU,形成 “点对点” 管控单元,对该区域洁净度变化做出响应,避免整体调节导致的资源浪费。系统支持单区域参数配置,可根据不同区域的洁净要求、生产特性,设定专属的联动阈值、风速调节范围、响应速度等参数。在芯片测试车间的探针测试工位,周边 FFU 可根据该工位洁净度数据调节,避免对其他区域造成影响;在生物实验室的培养箱周边,单区域联动可维持局部高洁净环境,保障实验样本不受污染。适用场景包括精密制造工位、生产区域、实验室关键区域等,单区域联动响应精度达 ±0.01m/s 风速调节,监测点与 FFU 的距离可灵活调整(0.5-5 米),适配不同工位布局,同时支持单区域联动状态显示,管理人员可快速掌握各关键区域的管控情况,局部异常时不影响整体生产,提升管控的性与灵活性。中源绿净模块化洁净室,施工废弃物减少 70%,为 20 + 企业符合绿色建筑标准!激光洁净室在线监测系统
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中源绿净智能洁净室物联网平台,具备与医疗行业监管平台(如国家医院监测平台、地方卫生健康部门监管系统)的数据对接能力,可按监管要求自动上传手术部洁净度监测数据(粒子浓度、浮游菌浓度、温湿度、气流速度)、设备运行数据(空调系统运行参数、消毒设备使用记录),数据上传成功率≥99.5%,上传延迟≤5 分钟。医院手术部洁净度管理需接受医疗行业监管部门的定期检查与数据核查,若无法及时、准确上传监测数据,可能面临监管处罚 —— 某医院曾因手动上传数据存在延迟与错误,被监管部门通报批评,影响医院评级。该平台通过自动对接监管平台,无需人工干预即可完成数据上传,确保数据的及时性与准确性;同时,平台可根据监管部门的要求(如新增监测参数、调整数据上传频率),快速更新对接方案,避免因监管要求变化导致的数据上传中断。深圳无尘室洁净室测试国家标准