中源绿净的洁净室环境监测系统,通过智能预警算法与分级响应机制,将洁净环境管理从 “被动记录” 升级为 “主动防控”,帮助用户及时发现环境异常,减少因洁净度不达标引发的生产风险与质量问题。该系统的预警功能以灵活的阈值设置为基础,用户可根据行业标准(如 ISO 14644、GMP、食品安全生产规范)或企业内部管理要求,自定义各项监测指标的预警阈值与报警阈值。例如在医疗行业的 ICU 病房,用户可依据《医院洁净护理单元建筑技术规范》,将 0.5μm 微粒浓度预警阈值设为 3520 粒 /m³,报警阈值设为 7040 粒 /m³,当数据达到预警阈值时启动初级提醒,达到报警阈值时触发紧急响应,避一阈值导致的预警滞后或误报。中源绿净的模块化洁净室,地面平整度误差≤2mm/2m,为 30 + 企业满足精密设备安装!万级车间洁净室在线监测系统

中源绿净的洁净室环境监测系统,适用场景包括关注能耗成本的洁净室企业,如电子半导体、制药、食品、医疗,尤其适用于大型洁净园区。在电子半导体企业中,能耗统计帮助优化 FFU 与空调运行参数;在制药企业中,分析帮助平衡能耗与洁净度达标;在食品企业中,能耗统计降低洁净加工的生产成本;在大型医疗园区中,汇总分析各洁净区域能耗,实现整体节能。能耗统计分析功能让系统从 “环境监测” 拓展至 “能耗管控”,为用户提供经济、高效的洁净管理方案。深圳十级洁净室颗粒物中源绿净为 25 + 微电子洁净车间建模块化洁净室,空气分子污染控制达标,芯片性能提升!

中源绿净的洁净室环境监测系统,具备洁净度达标率自动分析功能,可按日、周、月、年统计各洁净区域、各监测指标的达标情况,生成达标率报表与趋势图,帮助用户掌握洁净管理水平、识别薄弱环节、优化管控措施,同时为内部考核与外部审计提供数据支持。系统的达标率计算基于预设的行业标准或企业自定义阈值,例如按 ISO 14644 标准,统计 A 级洁净区 0.5μm 微粒浓度的达标时间占比;计算维度包括区域达标率(如车间 A 的日均达标率)、指标达标率(如 0.5μm 微粒的月度达标率)、设备达标率(如某台设备监测数据的达标率),达标率结果以百分比展示,同时标注未达标时段与原因(如 “8 月 5 日 14:00-15:00 因设备维护导致超标”)。
中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。中源绿净为 20 + 纳米涂层车间打造模块化洁净室,涂层均匀度提升 20%,产品性能更稳定!

中源绿净助力洁净室过滤系统优化,其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 过滤效率洁净度联动验证功能,可通过在 FFU 出风口、回风区部署监测点,同步检测不同位置的微粒浓度,自动计算 FFU 过滤器的过滤效率,为过滤器的维护与更换提供数据依据。系统支持不同粒径微粒的过滤效率分析,可帮助判断过滤器对特定粒径微粒的过滤能力,当效率下降至设定阈值时,自动发出更换提醒并调整 FFU 联动策略(如适当提升风速补偿过滤效率不足)。在洁净室新 FFU 安装后,系统可快速验证其过滤效率是否符合设计要求,确保联动基础可靠;在现有 FFU 的日常运行中,系统可持续监测过滤效率变化,避免因过滤器堵塞导致的洁净度下滑。适用场景包括洁净室 FFU 维护、新 FFU 验收、洁净区过滤系统优化等,系统支持生成过滤效率联动验证报告,包含检测时间、FFU 编号、各粒径过滤效率、合格判定等信息,可直接用于 FFU 维护记录,同时检测过程无需专业的效率测试设备,降低验证成本,联动验证与过滤系统维护计划结合,可延长 FFU 使用寿命,降低运营成本。中源绿净为 60 + 实验室动物房建模块化洁净室,氨浓度控制≤10ppm,动物健康率提升!深圳十万级洁净室计数器标准操作规程
中源绿净为 25 + 生物制药研发中心打造模块化洁净室,实验环境稳定,研发周期缩短 15%!万级车间洁净室在线监测系统
中源绿净针对局部管控需求优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现单区域联动,通过在关键工位、设备周边部署监测点与 FFU,形成 “点对点” 管控单元,对该区域洁净度变化做出响应,避免整体调节导致的资源浪费。系统支持单区域参数配置,可根据不同区域的洁净要求、生产特性,设定专属的联动阈值、风速调节范围、响应速度等参数。在芯片测试车间的探针测试工位,周边 FFU 可根据该工位洁净度数据调节,避免对其他区域造成影响;在生物实验室的培养箱周边,单区域联动可维持局部高洁净环境,保障实验样本不受污染。适用场景包括精密制造工位、生产区域、实验室关键区域等,单区域联动响应精度达 ±0.01m/s 风速调节,监测点与 FFU 的距离可灵活调整(0.5-5 米),适配不同工位布局,同时支持单区域联动状态显示,管理人员可快速掌握各关键区域的管控情况,局部异常时不影响整体生产,提升管控的性与灵活性。万级车间洁净室在线监测系统